[发明专利]一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置

说明书

本发明提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，用于检测待测物，待测物包括底板、功能件和位于底板与功能件之间的液层，底板与功能件在液层挥发后粘结在一起，检测装置包括：光源和探测器，光源位于底板的侧面或者底板的底面，底板的底面为底板远离功能件一侧的表面；探测器位于底板的底面，检测方法包括：控制光源发出第一光束并入射到底板中；控制探测器接收被待测物反射的光斑；根据探测器接收到的光斑判断是否存在液层；如果探测器接收到的光斑数量大于两个，则确定待测物中存在液层。本发明提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，以实现对待测物中液层的检测。

技术领域

本发明实施例涉及光学检测技术，尤其涉及一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置。

背景技术

浸没光刻机对平面光栅测量系统的测量行程需求，决定了使用大面积光栅的必要性，而高精度、大面积光栅存在制作难度大、成本高等难点。玻璃材质的小面积光栅采用光胶技术与在大面积(玻璃)底板胶合，使得大面积光栅集成、使用成为可能。光胶技术本质是范德华力作用即分子力粘接，其粘合层的厚度可以忽略不计，且在固化过程中发生较少的变形，可以获得更高的精度。传统的干法光胶技术是将两个干净的平坦表面紧密接触彼此的过程中，通过施加压力，将两个粘接件结合在一起，粘接点从初始接触点迅速蔓延扩大至整个粘接面。由于存在外部力施加和几乎无姿态纠正操作时间，此方法很难满足有粘接精度需求的光栅测量面的集成。

干法光胶技术的改进性方法是湿法光胶技术(可以参见Techniques forSolution Assisted Optical Contacting_NASA(2012))。该方法不需要外力来引发粘合，因而减小了粘接件变形的风险。湿法光胶技术主要是在两粘接件的光胶面之间增加易挥发液体。液体的引入排除了粘接面间的空气，且有间层顺滑作用，使得两粘接件相对姿态调整时间提升至百秒级。随着液体层缓慢蒸发，两粘接件便可粘合在一起。这种方法容易实现光栅在底板上的集成。

受限于反射式光栅的光线和有限的集成可操作区域，两粘接件(例如光栅和底板)间的液层厚度无法通过传统光圈公差的检测手段来检测，因而无法确认其间层中的液体是否挥发完毕。

发明内容

本发明实施例提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，以实现对待测物中液层的检测。

第一方面，本发明实施例提供一种湿法光胶检测装置的检测方法，用于检测待测物，所述待测物包括底板、功能件和位于所述底板与所述功能件之间的液层，所述底板与所述功能件在所述液层挥发后粘结在一起，所述检测装置包括：光源和探测器，所述光源位于所述底板的侧面或者所述底板的底面，所述底板的底面为所述底板远离所述功能件一侧的表面；所述探测器位于所述底板的底面；所述检测方法包括：

控制所述光源发出第一光束并入射到所述底板中；

控制所述探测器接收被所述待测物反射的光斑；

根据所述探测器接收到的光斑判断是否存在液层；如果所述探测器接收到的光斑数量大于两个，则确定所述待测物中存在所述液层。

可选地，所述控制所述光源发出第一光束并入射到所述底板中，包括：

控制所述光源发出半径小于或者等于1mm的第一光束，并入射到所述底板中。

可选地，所述控制所述光源发出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源发出的第一光束从所述底板的侧面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

可选地，所述控制所述光源发出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源发出的第一光束从所述底板远离所述功能件一侧的底面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

可选地，所述探测器接收到部分交叠的两个光斑，部分交叠的两个光斑分别为第一光斑和第二光斑，所述第一光斑与所述第二光斑的半径相等；