[发明专利]一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件及其制备方法有效
申请号: | 201910565247.0 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN110299437B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 陈静;钱建平;汪丽茜;潘江涌;刘城君;雷威 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 金诗琦 |
地址: | 211102 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 处理 nio 薄膜 无机 qleds 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件,其特征在于:自下而上依次包括ITO导电玻璃(1)、将带巯基功能团的长链化学分子链接至NiO纳米颗粒表面的NiO空穴传输层(2)、CdZnSeS/ZnS量子点层(3)、ZnMgO电子传输层(4)和Al阴极(5)。
2.根据权利要求1所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件,其特征在于:所述ITO导电玻璃(1)的厚度为150~200nm,所述经表面处理的NiO空穴传输层(2)的厚度为30~40nm,CdZnSeS/ZnS量子点层(3)的厚度为30~40nm,所述ZnMgO电子传输层(4)的厚度为20~40nm,所述Al阴极(5)的厚度为200~300nm。
3.一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于包含以下步骤:
(a)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,清洗ITO导电玻璃(1);
(b)将清洗后的ITO导电玻璃(1)吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为15~30min;
(c)取出步骤(b)处理后的ITO导电玻璃(1),旋涂50~100ul、浓度为1~20mg/ml的将带巯基功能团的长链化学分子链接至NiO纳米颗粒表面的NiO纳米颗粒溶液;
(d)取50~100ul、浓度为5~20mg/ml的量子点溶液旋涂到步骤(c)所得物上,转速为1000~5000r/min,时间为15~45s,退火;
(e)取50~100ul、浓度为15~45mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(d)所得物上,退火;
(f)将步骤(e)所得物抽真空并在700~900℃蒸镀铝膜,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
4.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(a)中,清洗在超声机中进行,超声时间为5~20min,温度为20~40℃。
5.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(c)中,NiO纳米颗粒溶液的表面处理包含以下步骤:
(1)将NiO纳米颗粒溶解在氯苯、氯仿和正己烷任意一种溶剂中,配成1~20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)在1000~5000r/min转速下在ITO导电玻璃(1)上旋涂NiO纳米颗粒溶液10~60s;
(3)将旋涂NiO纳米颗粒溶液的ITO导电玻璃(1)室温下浸泡在浓度为5~20mg/ml的表面修饰溶液中0.5~3h;
(4)使用醇类有机物清洗NiO薄膜表面1~5min,清洗后在50~100℃烘烤3~10min。
6.根据权利要求5所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中,表面修饰溶液为不同碳链长度的巯基酸,为三巯基丙酸、四巯基丁酸、五巯基戊酸、六巯基己酸、七巯基庚酸、八巯基辛酸、九巯基壬酸、十巯基癸酸、11-巯基十一烷酸中的任意一种。
7.根据权利要求5所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中,醇类有机物为甲醇或乙醇。
8.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(d)中,退火的温度为80~120℃,时间为5~15min。
9.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(e)中,退火的温度为60~100℃,时间为5~10min。
10.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(f)中,抽真空至10-5~10-4Pa。
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