[发明专利]超声波变幅器和晶片的分割方法

权利要求书

1.一种晶片的分割方法，该晶片的分割方法使用了超声波变幅器，其中，

该超声波变幅器具有：

振子，该振子具有辐射面，该辐射面以希望使该超声波振动集中的一点为中心而使该一点侧凹陷从而形成为圆顶状，并且从该辐射面辐射的超声波振动集中于作为该一点的焦点；以及

壳体，其对该振子的外周部进行保持，

该晶片的分割方法具有如下的工序：

搬送和浸没工序，将在内部具有沿着分割预定线的改质层的晶片载置于载置工作台上，将该载置工作台浸没在水槽中，其中，所述改质层是通过如下的方式形成的：在将具有透过该晶片的波长的脉冲激光光线的聚光点定位于该晶片的内部的状态下，一边对该晶片照射该脉冲激光光线，一边使该脉冲激光光线沿着该晶片的该分割预定线移动，从而形成所述改质层；以及

分割工序，对定位于该晶片的上方的一个超声波变幅器相对于该晶片的相对位置进行控制而将该一个超声波变幅器的该振子的该辐射面的焦点定位于该晶片的一条分割预定线或一个改质层，使该一个超声波变幅器沿着已浸没的该晶片的该改质层移动，依次对该晶片的每个改质层集中地赋予该超声波振动，从而将该晶片以该改质层为起点进行分割。