[发明专利]一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统

权利要求书

1.一种上下晶圆框架盒移动机构，用于晶圆送料的过程中，其特征在于：包括滑轨(8)、滑块(12)、升降驱动机构以及承载结构，所述承载结构与所述滑块(12)直接或间接固定连接；

所述升降驱动机构用于驱动所述滑块(12)沿着所述滑轨(8)的长度方向做升降运动，以使得直接或间接连接于所述滑块(12)的承载结构同步发生升降运动；

所述承载结构上升后支撑于晶圆框架盒(3)下侧，下降过程中承载晶圆框架盒(3)同步下降，用于装载所述晶圆框架盒(3)。

2.根据权利要求1所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述升降驱动机构包括驱动电机(9)、主动轮(6)、从动轮(7)、传动于所述主动轮(6)与从动轮(7)之间的同步皮带(5)；所述主动轮(6)与从动轮(7)相对于所述滑轨(8)的位置固定，所述滑块(12)能够随所述同步皮带(5)同步运动，所述驱动电机(9)用于直接或间接驱动所述主动轮(6)转动，以利用所述同步皮带(5)绕所述主动轮(6)与从动轮(7)的运动带动所述滑块(12)沿所述滑轨(8)长度方向做升降运动。

3.根据权利要求1所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述承载结构包括支撑平台(16)，设于所述支撑平台(16)的支撑座，以及与所述滑块(12)直接或间接固定连接的连接板(4)，所述晶圆框架盒(3)设置于所述支撑座，所述支撑平台(16)垂直安装于连接板(4)。

4.根据权利要求3所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述支撑座上安装有位置检测传感器(11)，用于实时检测所述承载结构相对于所述滑轨(8)的位置。

5.根据权利要求3或4所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述支撑座(16)由四块L型支撑块(17)构成，所述支撑块(17)固定安装于所述支撑平台(16)。

6.根据权利要求1或2所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：还包括固定板(2)，所述滑轨(8)直接或间接设于所述固定板(2)。

7.根据权利要求6所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述滑轨(8)形成于设置在所述固定板(2)上的滑轨基础板(1)。

8.根据权利要求1或2所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述滑轨(8)设有用以限制所述滑块(12)升降运动位置的限位部。

9.根据权利要求1、2或7任一项所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：还包括电机调整架，所述电机调整架包括上调节块(10)、下调节块(13)以及与所述滑轨基础板(1)连接的驱动电机安装板(14)，所述上调节块(10)设于所述滑轨基础板(1)，所述下调节块(13)设于所述安装板(14)，利用上调节块(10)与下调节块(13)的配合，以调节驱动电机(9)相对于主动轮(6)的位置。

10.一种晶圆送料系统，其特征在于：包括权利要求1至9任一项所述的一种上下晶圆框架盒移动机构。