[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置

权利要求书

1.一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备(3)外围的四个相互连接的复合夹心屏蔽板(1)及其固定底座(2)，相邻的两个复合夹心屏蔽板(1)垂直设置，所述复合夹心屏蔽板(1)具有内侧板(11)、外侧板(12)和设置在内侧板(11)和外侧板(12)之间的中间隔板(13)，所述内侧板(11)与中间隔板(13)之间的第一空隙(14)内设置有冷却水循环管道，所述冷却水循环管道以来回盘绕方式均匀分布在第一空隙(14)内，所述外侧板(12)与中间隔板(13)之间的第二空隙(15)内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网(16)，相邻复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)通过电导线(4)相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)上设置有用于与地面连接的接地导线(5)。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，除首末两端的相邻两个复合夹心屏蔽板(1)内的两个冷却水循环管道不通过水管串联连接之外，其余相邻两个复合夹心屏蔽板(1)内的两个冷却水循环管道通过水管串联连接，所述首末两端的相邻两个复合夹心屏蔽板(1)内的两个冷却水循环管道的其中一个底部设置有冷却水进水口，另一个顶部设置有出水口。

3.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，复合夹心屏蔽板(1)与微波等离子体化学气相沉积设备(3)间的距离为40-60cm。

4.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，所述固定底座(2)为工字型支架。

5.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，所述接地导线(5)贯穿固定底座(2)与地面连接。

6.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，所述铜网(16)为紫铜网、黄铜网或磷铜网。

7.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，所述铜网(16)的厚度为0.1-1mm。

8.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，所述内侧板(11)、外侧板(12)和中间隔板(13)的材质为塑料或有机玻璃。