[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置

说明书

本申请涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板及其固定底座，复合夹心屏蔽板具有内侧板、外侧板和设置在内侧板和外侧板之间的中间隔板，内侧板与中间隔板之间的第一空隙内设置有冷却水循环管道，外侧板与中间隔板之间的第二空隙内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网，相邻复合夹心屏蔽板内的铜网通过电导线相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板内的铜网上设置有用于与地面连接的接地导线。本发明屏蔽装置的复合夹心屏蔽板内同时设置冷却水循环管道和铜网，屏蔽效果良好，既能有效保证工作人员的身体健康，又可以减少对设备本身的损害。

技术领域

本申请属于微波屏蔽技术领域，尤其是涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽结构。

背景技术

微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是用微波等离子体作反应源，在石英管内沉积制备光纤预制棒的一种方法，该方法与其它等离子体化学气相沉积法的不同之处在于原料气体被微波能激发电离产生等离子体，而MPCVD法所使用的微波等离子体化学气相沉积设备的核心部件就是用于产生微波等离子体的微波谐振腔，微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好、等离子体密度高等一系列优点，但与此同时，微波谐振腔会产生对设备和人员造成危害的微波辐射，因此需要对其进行微波屏蔽。

目前，针对微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽方法一般为两种：一种方法是在设备外建造金属隔间，该方法虽然可以减少对人员的伤害，但无法减少对设备本身的危害，另外金属隔间的占地空间大，浪费厂房资源；另一种方法在设备四周做隔板，隔板上贴附吸波材料，该方法虽然对微波的屏蔽效果较好，但微波吸波材料对温度及湿度等环境要求较高，需要根据环境情况选择不同基底的吸波材料，且微波吸波材料需要繁琐的周期更换，产生较高的材料成本。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中针对微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽方法的屏蔽效果差、工作繁琐且成本高等不足，从而提供一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板及其固定底座，所述复合夹心屏蔽板具有内侧板、外侧板和设置在内侧板和外侧板之间的中间隔板，所述内侧板与中间隔板之间的第一空隙内设置有冷却水循环管道，所述外侧板与中间隔板之间的第二空隙内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网，相邻复合夹心屏蔽板内的铜网通过电导线相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板内的铜网上设置有用于与地面连接的接地导线。

优选地，除首末两端的相邻两个复合夹心屏蔽板内的两个冷却水循环管道不通过水管串联连接之外，其余相邻两个复合夹心屏蔽板内的两个冷却水循环管道通过水管串联连接，所述首末两端的相邻两个复合夹心屏蔽板内的两个冷却水循环管道的其中一个底部设置有冷却水进水口，另一个顶部设置有出水口。

优选地，所述冷却水循环管道以来回盘绕方式均匀分布在复合夹心屏蔽板内的第一空隙内。

优选地，所述复合夹心屏蔽板的个数为四个，相邻的两个复合夹心屏蔽板垂直设置。

优选地，复合夹心屏蔽板与微波等离子体化学气相沉积设备间的距离为40-60cm。

优选地，所述固定底座为工字型支架。

优选地，所述接地导线贯穿固定底座与地面连接。

优选地，所述铜网为紫铜网、黄铜网或磷铜网。

优选地，所述铜网的厚度为0.1-1mm。

优选地，所述内侧板、外侧板和中间隔板的材质为塑料或有机玻璃。

本发明的有益效果是：