[发明专利]一种管式镀膜机二合一方法

权利要求书

1.一种管式镀膜机二合一方法，其特征在于，所述二合一方法将背膜、正膜使用一台镀膜设备，背膜、正膜工序合并，采用机械手将硅片翻转，先加工背膜，待背膜加工完经翻转后加工正膜，减少工序间产品搬运及上下料操作流程。

2.根据权利要求1所述的一种管式镀膜机二合一方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤一，将放有硅片的花篮放置于自动化上料区；

步骤二，用皮带将硅片传送到机械手的抓片区域内；

步骤三，将机械手抓片区硅片插入石墨舟内；

步骤四，插满硅片的石墨舟进管，进行背面氮化硅沉积；

步骤五，在背膜工艺完成后，将硅片传送至插片区，将硅片取出，放置于下料放置区；

步骤六，机械手翻转180°，将下料放置区硅片取出，插入石墨舟内；

步骤七，为正面镀膜，插满硅片的石墨舟进管，运行正膜工艺，进行正面氮化硅沉积；

步骤八，正膜工艺完成后，石墨舟传送至插片区，将硅片取出，放置于下料放置区；

步骤九，将背膜、正膜工艺完成的硅片传送至花篮；

步骤十，花篮插满后自动下料，此时正背膜工艺均已完成，流入下道工序流程。