[发明专利]一种管式镀膜机二合一方法在审
申请号: | 201910578233.2 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110416354A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 赵帅;吴仕梁;路忠林;张凤鸣 | 申请(专利权)人: | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背膜 二合一 镀膜机 种管 加工 操作流程 产品搬运 镀膜设备 硅片翻转 机械手 膜工序 上下料 翻转 合并 | ||
本发明提供一种管式镀膜机二合一方法,所述二合一方法将背膜、正膜使用一台镀膜设备,背膜、正膜工序合并,采用机械手将硅片翻转,先加工背膜,待背膜加工完经翻转后加工正膜,减少工序间产品搬运及上下料操作流程。
技术领域
本发明涉及硅太阳能电池设备领域,具体涉及到管式镀膜(正背膜)机二合一方法。
背景技术
随着太阳能产业的蓬勃发展,产业自动化水平逐渐提高,整个生产过程自动化取代人工操作,机台产出率和机台利用率成为工厂降本提效的关键。
自动化生产贯穿整个电池生产流程,从制绒-扩散-刻蚀-氧化-PERC-背膜-正膜-印刷烧结-测试分选,生产过程中人的操作动作逐渐减少,人员逐步从繁多的操作中解放,生产过程正朝着简单、高效、安全发展。
但对于镀膜段过程的自动化程序还比较粗糙,硅片先加工背膜,加工完后,徐运送到另一设备上再继续加工正膜,程序复杂,且安全性差。
发明内容
针对上述技术问题,本发明旨在提出一种管式镀膜机二合一方法,重点对镀膜段过程优化提供方案,提高生产效率与电池片良率效率。
本发明提出一种管式镀膜机二合一方法,该方法包括以下步骤:
步骤一,将放有硅片的花篮放置于自动化上料区;
步骤二,用皮带将硅片传送到机械手的抓片区域内;
步骤三,将机械手抓片区硅片插入石墨舟内;
步骤四,插满硅片的石墨舟进管,进行背面氮化硅沉积;
步骤五,在背膜工艺完成后,将硅片传送至插片区,将硅片取出,放置于下料放置区;
步骤六,机械手翻转180°,将下料放置区硅片取出,插入石墨舟内;
步骤七,为正面镀膜,插满硅片的石墨舟进管,运行正膜工艺,进行正面氮化硅沉积;
步骤八,正膜工艺完成后,石墨舟传送至插片区,将硅片取出,放置于下料放置区;
步骤九,将背膜、正膜工艺完成的硅片传送至花篮;
步骤十,花篮插满后自动下料,此时正背膜工艺均已完成,可流入下道工序流程。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
本专利背膜、正膜使用一台镀膜设备,将传统背膜、正膜工序合并,减少1道工序,减少1台镀膜设备,减少人工搬运次数2次,减少皮带传送次数2次,减少中转车用量及1次跨工序搬运过程,有效的减少硅片与设备的接触,减少工序间产品搬运及上下料操作流程;
本专利中背膜、正膜分步二合一,较分开两道工序有以下优势:
1、下料、传送、搬运时间优化3min,产能提升5%;
2、硅片接触较少,划伤类不良优化0.3%,效率提高0.05%;
3、减少人工作业率50%;
4、机台利用率增加5%。
附图说明
图1为现有技术中目前镀膜段流程图的实施流程图;
图2为本发明一种管式镀膜机二合一方法的实施流程图。
具体实施方式
现将结合附图对本发明的技术方案进行完整的描述。以下描述仅仅是本发明的一部分实施案例而已,并非全部。基于本发明中的实施案例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施案例,都属于本发明的权利保护范围之内。
实施例1
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的