[发明专利]能沿轴向自动熔焊组合不锈钢弯管接头的设备及工法

说明书

本发明一种能沿轴向自动熔焊组合不锈钢弯管接头的设备及工法，该工法令作业人员仅需将横断面呈半圆形的两个不锈钢弯管接头半成品，分别放入至两个相互对应的定位模具中，该两个定位模具的对应侧相互抵接在一起时，这些弯管接头半成品上会因抵接而形成两条衔接缝，一衔接模具会抵靠在这些弯管接头半成品内侧对应于各该衔接缝的位置，一自动焊接机则能沿着该弯管接头的轴向分别对各该衔接缝进行熔焊，此时，该衔接模具还会对各该衔接缝内缘提供惰性气体，以避免熔焊部位因高温而过度氧化，如此，即能迅速且气密地将这些弯管接头半成品组合成为一不锈钢弯管接头成品。

技术领域

本发明关于组合不锈钢弯管接头的设备及工法，尤指一种仅需将横断面呈半圆形的两个不锈钢弯管接头半成品，置入一设备中，即能使该设备自动熔焊组合这些弯管接头半成品，以形成不锈钢弯管接头的设备及工法。

背景技术

各式半导体元件已是目前各种电子产品中不可或缺的基本零件，因此其品质的良窳将直接影响着各该电子产品的效能，故又被称为“电子产业的原油”，其重要性自是不言可喻，尤其是，近二、三十年来，随着各式工业技术日新月异地进步，半导体产业的工艺及步骤也随的不断地改良，但是，无论是最初的湿式工艺，或后续研发出的气体干式工艺或化合物半导体工艺...等，这些工艺技术仍必须大量地使用到各种酸碱溶液、有机溶剂及特殊气体...等工艺原料来协、助工艺反应(例如：作为光阻剂、显影剂或清洗用的有机溶剂)，而这些工艺原料对于人体或其它生物体而言，皆具有一定的毒性，故，一般言，半导体本领域工作人员均必须在其工艺室中设置至少一套废气排放系统，以通过其中的排气调节装置，将这些工艺原料所产生的废气集中排放至一集气槽，统一地进行回收处理。

在现今各式半导体元件或电子元件的工艺室中，除了前述废气排放之外，各该工艺室中温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布等工艺参数亦必须通过该废气排放系统中的该排气调节装置，而分别被稳定地控制在一预期的理想范围内，始能确保各该半导体元件或电子元件的工艺能被正确地执行及完成，从而确保各式半导体元件或电子元件的生产良率均能稳定地维持在一理想范围内，据此，各该排气调节装置中均必须装设一“调节风门”，以令本领域工作人员能据以调校及控制废气的排放速率与流量。现仅以目前已被广泛使用于业界的一种现有排气调节装置4为例，请参阅图1及图2所示，详细说明如下：

继续请参阅图2所示，该现有排气调节装置4内设有一排气管道41及至少一调节风门43，其中，该排气管道41的一端通过一系列逐一串联的不锈钢排气管，连接至一工艺室(如：半导体或光电产品工艺室...等)，该排气管道41的另一端则通过另一系列逐一串联的不锈钢排气管，连接至一集气槽(如：废气回收槽等，图中未示)，以将自该工艺室所收集的废气排放至该集气槽，该调节风门43设在该排气管道41内，而该现有排气调节装置4的排气量受一现有风门调节机构3的控制，现以目前被广泛使用在许多废气排放系统中的一现有风门调节机构3为例，请参阅图1所示，说明该现有风门调节机构3的结构及运作方式如下：

继续请参阅图1所示，该现有风门调节机构3包括一基座31、一按压把手32及一连动杆39；其中，该基座31上设有一调节沟槽33，该调节沟槽33中设有多个调节刻度331；该按压把手32通过一枢轴30枢接至该基座31，其上在邻近一端320且对应于该调节沟槽33的位置处凸设有一嵌卡构件321，该嵌卡构件321能嵌卡且锁定至其中的一调节刻度331中，且在作业人员压按该按压把手32邻近另一端322位置处的情况下，该嵌卡构件321始能离开该调节刻度331，令作业人员能以该枢轴30为中心，而沿着该调节沟槽33来回地转动该按压把手32；反之，在作业人员放开该按压把手32邻近另一端322位置处的情况下，该嵌卡构件321即会嵌卡且锁定至当前所对应的该调节刻度331中。