[发明专利]工业用机器人

权利要求书

1.一种工业用机器人，其搬运板状的搬运对象物，其中，具备：

手，所述手载置所述搬运对象物；以及

检测部，所述检测部检测所述手上的所述搬运对象物，

所述手具有：

载置面；以及

第一支承部、第二支承部及第三支承部，所述第一支承部、第二支承部及第三支承部能够支承所述搬运对象物的背面的三个部位，使得所述搬运对象物与所述载置面之间隔开间隙且沿着所述载置面配置，

所述检测部具有：

多个反射型光传感器，所述多个反射型光传感器与由所述第一支承部、所述第二支承部和所述第三支承部支承的所述搬运对象物的外周面对置配置；以及

信号处理部，所述信号处理部基于所述多个反射型光传感器的输出信号，判定所述搬运对象物的载置状态，

所述多个反射型光传感器包括设置于中心线的一侧的第一传感器和设置于另一侧的第二传感器，所述中心线穿过所述第一支承部且穿过所述第二支承部和所述第三支承部的中间，

在所述反射型光传感器中，发光元件与受光元件在所述搬运对象物的厚度方向上重叠配置。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其中，

所述第一传感器和所述第二传感器被设置于夹着所述中心线相互对称的位置。

3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其中，

所述第一传感器和所述第二传感器设置在所述第一支承部附近。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的工业用机器人，其中，

所述第一支承部、所述第二支承部及所述第三支承部支承所述搬运对象物的所述背面的外周部。

5.根据权利要求4所述的工业用机器人，其中，

所述第一支承部、所述第二支承部及所述第三支承部具有倾斜面，并通过所述倾斜面与所述搬运对象物的所述背面的外周部的边缘相接，所述倾斜面是朝向连结所述第一支承部、所述第二支承部和所述第三支承部而获得的三角区域的外切圆的中心的倾斜面，且越接近所述载置面则越接近所述中心。

6.根据权利要求4所述的工业用机器人，其中，

所述搬运对象物是半导体晶片。

7.根据权利要求5所述的工业用机器人，其中，

所述搬运对象物是半导体晶片。

8.一种工业用机器人，其搬运板状的搬运对象物，其中，具备：

手，所述手载置所述搬运对象物；以及

检测部，所述检测部检测所述手上的所述搬运对象物，

所述手具有：

载置面；以及

第一支承部、第二支承部及第三支承部，所述第一支承部、第二支承部及第三支承部能够支承所述搬运对象物的背面的三个部位，使得所述搬运对象物与所述载置面之间隔开间隙且沿着所述载置面配置，

所述检测部具有：

多个反射型光传感器，所述多个反射型光传感器与由所述第一支承部、所述第二支承部和所述第三支承部支承的所述搬运对象物的外周面对置配置；以及

信号处理部，所述信号处理部基于所述多个反射型光传感器的输出信号，判定所述搬运对象物的载置状态，

所述多个反射型光传感器包括设置于中心线的一侧的第一传感器和设置于另一侧的第二传感器，所述中心线穿过所述第一支承部且穿过所述第二支承部和所述第三支承部的中间，

在所述第一传感器的输出信号值和所述第二传感器的输出信号值双方均为规定的阈值以上的情况下，所述信号处理部判定为所述搬运对象物的载置状态适当，

在所述反射型光传感器中，发光元件与受光元件在所述搬运对象物的厚度方向上重叠配置。

9.根据权利要求8所述的工业用机器人，其中，

在所述第一传感器的输出信号值和所述第二传感器的输出信号值的至少一方小于所述阈值的情况下，所述信号处理部判定为所述搬运对象物的载置状态不适当。