[发明专利]工业用机器人

说明书

本发明提供一种工业用机器人，其能够检测存在于升降的臂支承部的底面的下方的障碍物。工业用机器人(1)具备：保持搬运对象物(2)的手(3、5)、使手(3、5)在水平面内移动的臂(4、6)、支承臂(4、6)的臂支承部(7)、使臂支承部(7)升降的升降机构(8)以及检测存在于臂支承部(7)的底面(11)的下方的障碍物的检测部(20)，检测部(20)具有可动体(21)和传感器(22)，其中，可动体(21)为板状，其沿着臂支承部(7)的底面(11)且与底面(11)之间隔开间隔配置，相对于臂支承部(7)能够在升降方向(Z)上移动，传感器(22)检测可动体(21)在升降方向(Z)上的位移。

技术领域

本发明涉及一种搬运半导体晶片等搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

专利文献1中记载的工业用机器人是搬运半导体晶片的机器人，具备保持半导体晶片的手、使手在水平面内移动的臂、支承臂的臂支承部以及使臂支承部升降的升降机构。通过手在水平面内的移动和升降，将半导体晶片从收纳盒搬运到加热炉，将经加热处理的半导体晶片从加热炉搬运到收纳盒。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-179419号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在使机器人存储臂的轨道的示教时、或者工业用机器人的维护时，操作者接近机器人。例如，在操作者的脚被夹在臂支承部的底面和设置有工业用机器人的地板之间的情况下，期望使工业用机器人迅速停止。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种工业用机器人，其能够检测存在于升降的臂支承部的底面的下方的障碍物。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明一方面提供一种工业用机器人，其具备：手，所述手保持搬运对象物；臂，所述臂使所述手在水平面内移动；臂支承部，所述臂支承部支承所述臂；升降机构，所述升降机构使所述臂支承部升降；以及检测部，所述检测部检测存在于所述臂支承部的底面的下方的障碍物；所述检测部具有：可动体，所述可动体为板状，所述可动体沿着所述臂支承部的所述底面且与所述底面之间隔开间隔配置，并且，所述可动体相对于所述臂支承部能够在所述臂支承部的升降方向上移动；以及传感器，所述传感器检测所述可动体在所述升降方向上的位移。

(发明效果)

根据本发明，可以提供一种工业用机器人，其能够检测存在于升降的臂支承部的底面的下方的障碍物。

附图说明

图1是用于说明本发明的实施方式的工业用机器人之一例的俯视图，是臂缩回的状态的俯视图。

图2是图1的工业用机器人的俯视图，是臂伸出的状态的俯视图。

图3是图1的工业用机器人的主视图。

图4是图1的工业机器人的检测部的主视图。

图5是图4的检测部的侧视图。

(附图标记说明)

1 工业用机器人

2 半导体晶片(搬运对象物)

3 晶片装载机构

4 第一臂

5 传感用手

6 第二臂

7 臂支承部

8 升降机构

9 第一支承部