[发明专利]图像配准方法及终端设备

说明书

本发明适用于微电子器件温度检测技术领域，提供了一种图像配准方法及终端设备，该方法包括：获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像；根据参考图像和对比图像上的预设特征点，获取被测件相对探测器的位置改变量；根据位置改变量反复调整热反射成像测温装置上的纳米位移台的位置，并获取每次纳米位移台位置调整后的被测件的新图像；根据新图像与参考图像，确定新图像中与参考图像误差最小的新图像为有效图像，从而可以修正被测件在由于震动、被测件热膨胀等造成的热反射成像测温过程中发生在二维方向的位置改变，实现较高的测温准确度。

技术领域

本发明属于微电子器件温度检测技术领域，尤其涉及一种图像配准方法及终端设备。

背景技术

当可见光照射在某种材料表面时，材料对可见光的反射率随材料温度变化而变化。材料对可见光的反射率变化量与材料表面的温度变化量呈线性关系，如公式其中，所述ΔR为反射率变化量；R_average为反射率的均值；ΔT为被测材料温度变化量，单位为K；C_TR为热反射率校准系数，单位为K^-1。由此可见，C_TR不同时即使测得相同的反射率变化量ΔR，计算得到的ΔT也必然不同。

一般热反射成像测温装置采用科研级CCD相机作为探测器，CCD相机是由很多成像单元组成的阵列式探测器。对于阵列式探测器的热反射成像测温装置会由于热膨胀、振动等原因造成该成像单元对应的材料及C_TR发生变化，热膨胀或振动引起的被测件表面不同材料交界处出现的异常结果一般称为边缘效应，然而现有技术并未给出如何修正边缘效应的方法，导致对被测件的测温结果造成很大影响。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种图像配准方法及终端设备，以解决现有技术中被测件的测温结果准确度较低的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种图像配准方法，包括：

获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像；所述参考图像和所述对比图像均为给所述被测件施加固定光强时热反射成像测温装置上的探测器拍摄的所述被测件的图像；

根据所述参考图像和所述对比图像上的预设特征点，获取所述被测件相对所述探测器的位置改变量；

根据所述位置改变量反复调整所述热反射成像测温装置上的纳米位移台的位置，并获取每次所述纳米位移台位置调整后的所述被测件的新图像；

根据所述新图像与所述参考图像，确定所述新图像中与所述参考图像误差最小的新图像为有效图像。

在一实施例中，所述获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像，包括：

获取不同材料构成的被测件的第一张图像，并将所述第一张图像作为参考图像；

继续获取所述被测件的多张后续图像，并将所述后续图像作为对比图像。

在一实施例中，所述根据所述参考图像和所述对比图像上的预设特征点，获取所述被测件相对所述探测器的位置改变量，包括：

根据所述参考图像上的第一预设特征点，获得所述第一预设特征点的第一坐标；

根据所述对比图像上与所述第一预设特征点位置相同的第二预设特征点，获得所述第二预设特征点的第二坐标；

当所述第一坐标和所述第二坐标不同时，将所述第一坐标和所述第二坐标发送给终端设备，以获取所述终端设备计算的所述被测件相对所述探测器的位置改变量。

在一实施例中，所述终端设备根据计算所述被测件相对所述探测器的位置改变量；