[发明专利]金属遮罩

权利要求书

1.一种金属遮罩，其包括一金属材料的遮罩板体，该遮罩板体界定有一接触区域，以及位于接触区域外围的周边区域，该接触区域中设有多个镀膜图案孔以及位于相邻镀膜图案孔之间的遮蔽部；其特征在于：

该金属遮罩包括一蚀刻构造，该蚀刻构造形成于该遮罩板体的一侧，且该遮罩板体于所述蚀刻构造沿着该遮罩板体的板厚方向的另一侧边具有一板体基部，所述蚀刻构造包括至少一图案化蚀刻槽以及位于所述图案化蚀刻槽中的至少一图案化肋部，所述图案化蚀刻槽的蚀刻深度小于或等于该板体基部的厚度，所述图案化肋部连接所述板体基部。

2.根据权利要求1所述的金属遮罩，其特征在于，所述蚀刻构造位于该遮蔽部范围内的总面积大于或等于该接触区域的总面积的20％，且小于或等于该接触区域的总面积的85％。

3.根据权利要求1或2所述的金属遮罩，其特征在于，所述图案化蚀刻槽的槽宽大于或等于所述图案化肋部的肋宽，所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽包括多个槽沟单元，多个所述槽沟单元连接一体，使所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽形成连续图形。

4.根据权利要求1或2所述的金属遮罩，其特征在于，所述图案化蚀刻槽的槽宽大于或等于所述图案化肋部的肋宽，所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽包括多个槽沟单元，所述槽沟单元未完全连接，使所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽的图案为不连续图形，位于所述图案化蚀刻槽中的所述图案化肋部形成连续图形，且连接该遮罩板体的周边区域。

5.一种金属遮罩，其包括一金属材料的遮罩板体，该遮罩板体界定有一接触区域，以及位于接触区域外围的周边区域，该接触区域中设有多个镀膜图案孔以及位于相邻镀膜图案孔之间的遮蔽部；其特征在于：

该金属遮罩包括两个蚀刻构造，两个所述蚀刻构造分别形成于该遮罩板体的相对两侧，该遮罩板体于两个所述蚀刻构造之间具有一板体基部，所述蚀刻构造包括至少一图案化蚀刻槽以及位于所述图案化蚀刻槽中的至少一图案化肋部，两个所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽的蚀刻深度总合小于或等于该板体基部的厚度，所述图案化肋部连接所述板体基部。

6.根据权利要求5所述的金属遮罩，其特征在于，所述蚀刻构造位于该遮蔽部范围内的总面积大于或等于该接触区域的总面积的20％，且小于或等于该接触区域的总面积的85％，所述图案化蚀刻槽的槽宽大于或等于所述图案化肋部的肋宽。

7.根据权利要求5或6所述的金属遮罩，其特征在于，所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽包括多个槽沟单元，多个所述槽沟单元连接一体，使所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽形成连续图形。

8.根据权利要求5或6所述的金属遮罩，其特征在于，所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽包括多个槽沟单元，多个所述槽沟单元未完全连接，使所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽的图案为不连续图形，位于所述图案化蚀刻槽中的所述图案化肋部形成连续图形，且连接该遮罩板体的周边区域。

9.一种金属遮罩，其包括一金属材料的遮罩板体，该遮罩板体界定有一接触区域，以及位于接触区域外围的周边区域，该接触区域中设有多个镀膜图案孔以及位于相邻镀膜图案孔之间的遮蔽部；其特征在于：

该金属遮罩包括两个蚀刻构造，两个所述蚀刻构造分别形成于该遮罩板体的相对两侧，该遮罩板体于两个所述蚀刻构造之间具有一板体基部，所述蚀刻构造各具有一图案化蚀刻槽，两个所述蚀刻构造的图案化蚀刻槽的蚀刻深度总合小于或等于该板体基部的厚度。

10.根据权利要求9所述的金属遮罩，其特征在于，所述蚀刻构造位于该遮蔽部范围内的总面积大于或等于该接触区域的总面积的20％，且小于或等于该接触区域的总面积的85％。