[发明专利]接触式柔性传感器

权利要求书

1.一种接触式柔性传感器，其特征在于，包括：柔性应变传感模块，所述柔性应变传感模块包括第一应变传感器和压力传感器，所述第一应变传感器和压力传感器以薄膜的形态集成在同一衬底上；

所述第一应变传感器，用于根据被测对象的形变产生第一信号；

所述压力传感器，用于根据被测对象受到的压力产生第二信号；

所述第一应变传感器和所述压力传感器还形成信号处理模块，所述信号处理模块能够分别对所述第一信号和所述第二信号进行信号处理，得到处理后的第一信号和处理后的第二信号；

其中，所述柔性应变传感模块包括：依次设置在所述衬底上的第一金属层、电介质层和第二金属层；

所述第一金属层包括第一电极；

所述第二金属层包括第二电极、所述第一应变传感器；

所述第一电极，以及分别与所述第一电极相对的所述电介质层和所述第二电极，形成所述压力传感器；

所述衬底能够与被测对象的待测部位的表面贴合，以使所述柔性应变传感模块贴合在所述被测对象的待测部位的表面上；

所述衬底、所述第一金属层、所述电介质层以及所述第二金属层均采用柔性材料制成；

所述第一金属层还包括第二应变传感器；

所述第二应变传感器，用于根据被测对象的待测部位的形变产生第三信号，以使外部电路根据所述第三信号，对所述处理后的第一信号进行温度解耦处理。

2.根据权利要求1所述的接触式柔性传感器，其特征在于，

所述柔性应变传感模块包括多个第一应变传感器和多个压力传感器；

其中，所述柔性应变传感模块中包括以下连接关系中的一种或多种，以形成所述信号处理模块：

一个第一应变传感器和一个压力传感器串联；

一个第一应变传感器和一个压力传感器并联；

多个第一应变传感器和多个压力传感器混连；

一个第一应变传感器和多个压力传感器混连；

多个第一应变传感器和一个压力传感器混连。

3.根据权利要求2所述的接触式柔性传感器，其特征在于，所述多个第一应变传感器分别能够检测不同方向的应变。

4.根据权利要求1所述的接触式柔性传感器，其特征在于，柔性应变传感模块还包括封装层；

所述封装层设置在所述第二金属层上，所述第一金属层、电介质层和第二金属层被封装在所述封装层和衬底之间。

5.根据权利要求1所述的接触式柔性传感器，其特征在于，所述第一应变传感器具有栅形结构。

6.根据权利要求1所述的接触式柔性传感器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极为圆形箔片。

7.根据权利要求1所述的接触式柔性传感器，其特征在于，所述第一金属层和所述第二金属层的材料包括：金和铬，或者金和钼。