[发明专利]坩埚、蒸发源及蒸镀设备

权利要求书

1.一种坩埚，包括坩埚本体和设置于所述坩埚本体上的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴包括：

与所述坩埚本体固定连接的第一喷嘴层；

第二喷嘴层，设置于所述第一喷嘴层内，且所述第二喷嘴层与所述第一喷嘴层之间具有间隔空间；其中，所述第二喷嘴层形成与所述坩埚本体的内部连通的围设空间；其中，所述围设空间为所述坩埚本体内蒸镀材料的输出通道；

其中，所述坩埚还包括：

设置于所述坩埚本体内部的移动调节组件，所述移动调节组件与所述第二喷嘴层连接；

其中，所述移动调节组件被配置为使所述第二喷嘴层能够相对于所述第一喷嘴层上下移动，并能够绕轴心旋转；

所述移动调节组件包括：

第一驱动电机；

第二驱动电机；

与所述第一驱动电机连接的旋转驱动结构；

与所述第二驱动电机连接的直线驱动结构，其中所述旋转驱动结构与所述直线驱动结构固定连接；

通过所述第一驱动电机驱动所述旋转驱动结构，所述第二喷嘴层能够相对于所述第一喷嘴层绕轴心旋转；通过所述第二驱动电机驱动所述直线驱动结构，所述第二喷嘴层能够相对于所述第一喷嘴层上下移动；

其中，所述第二喷嘴层与所述直线驱动结构固定连接，所述旋转驱动结构与所述直线驱动结构相连接；所述直线驱动结构保持固定，通过所述第一驱动电机驱动所述旋转驱动结构动作，所述第二喷嘴层相对于所述第一喷嘴层绕轴心旋转；所述旋转驱动结构保持固定，所述第二驱动电机驱动所述直线驱动结构动作，所述第二喷嘴层能够相对于所述第一喷嘴层 上下移动；所述旋转驱动结构包括：与所述第一驱动电机连接的旋转轴、设置于所述旋转轴上的齿轮传动组和与所述齿轮传动组固定连接的输出轴；

所述直线驱动结构包括：与所述第二驱动电机连接的丝杠；

其中，在所述坩埚本体的内部，所述第一驱动电机与所述第二驱动电机分别封装于封闭空间内。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体的顶面上设置有开孔，所述第一喷嘴层设置于所述开孔处，且与所述顶面固定连接；

所述第二喷嘴层与所述第一喷嘴层的内壁连接；或者，所述第二喷嘴层在所述坩埚本体的内部与所述坩埚本体连接。

3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第二喷嘴层包括形成所述围设空间的筒状体和围绕所述筒状体的其中一边缘设置的延伸体；

其中，所述筒状体与所述第一喷嘴层之间形成所述间隔空间；

所述延伸体与所述第一喷嘴层的内壁连接；或者，所述延伸体设置于所述坩埚本体的内部，与所述坩埚本体连接。

4.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚本体上设置有至少两个所述喷嘴，且至少两个所述喷嘴在所述坩埚本体上呈线性排列。

5.一种蒸发源，其特征在于，包括权利要求1至4任一项所述的坩埚。

6.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求5所述的蒸发源。