[发明专利]坩埚、蒸发源及蒸镀设备

说明书

本发明提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备，该坩埚包括坩埚本体和设置于所述坩埚本体上的喷嘴，其中，所述喷嘴包括：与所述坩埚本体固定连接的第一喷嘴层；第二喷嘴层，设置于所述第一喷嘴层内，且所述第二喷嘴层与所述第一喷嘴层之间具有间隔空间；其中，所述第二喷嘴层形成与所述坩埚本体的内部连通的围设空间；其中，所述围设空间为所述坩埚本体内蒸镀材料的输出通道。该坩埚通过设置双层的喷嘴，能够解决由于坩埚的喷嘴处输出的蒸镀材料的温度不均匀，造成喷嘴处容易堵塞材料，导致蒸镀过程所制成的膜厚均一性差的问题。

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，尤其是指一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备。

背景技术

目前，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板具有轻薄、高对比度、高色域以及能够实现柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。

OLED显示面板的制造包括精细金属掩膜(Fine Metal Mask，FMM)制作过程，其中FMM是通过蒸镀方式将OLED材料依据预定程序蒸镀到低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)背板上，利用FMM上的图形，形成红色、绿色和蓝色该三种颜色的发光器件。

在蒸镀过程中，用于蒸镀的蒸发源设置于真空腔体内，待蒸镀材料设置于蒸发源的坩埚内，坩埚在腔体内被加热，使待蒸镀材料升华并蒸发至LTPS背板上。由于坩埚在真空腔体内被加热，且待蒸镀材料的内部传导性不佳，从而造成坩埚内待蒸镀材料的温度均匀性差的问题；此外，由于坩埚内待蒸镀材料的温度均匀性差，造成坩埚向LTPS背板输出待蒸镀材料的喷嘴也存在受热不均，材料容易在喷嘴内壁处粘附，造成喷嘴堵塞的问题，最终导致蒸镀过程所制成的膜厚均一性差。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备，用于解决由于坩埚的喷嘴处输出的蒸镀材料的温度不均匀，造成喷嘴处容易堵塞材料，导致蒸镀过程所制成的膜厚均一性差的问题。

本发明实施例提供一种坩埚，包括坩埚本体和设置于所述坩埚本体上的喷嘴，其中，所述喷嘴包括：

与所述坩埚本体固定连接的第一喷嘴层；

第二喷嘴层，设置于所述第一喷嘴层内，且所述第二喷嘴层与所述第一喷嘴层之间具有间隔空间；其中，所述第二喷嘴层形成与所述坩埚本体的内部连通的围设空间；其中，所述围设空间为所述坩埚本体内蒸镀材料的输出通道。

可选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚本体的顶面上设置有开孔，所述第一喷嘴层设置于所述开孔处，且与所述顶面固定连接；

所述第二喷嘴层与所述第一喷嘴层的内壁连接；或者，所述第二喷嘴层在所述坩埚本体的内部与所述坩埚本体连接。

可选地，所述的坩埚，其中，所述第二喷嘴层包括形成所述围设空间的筒状体和围绕所述筒状体的其中一边缘设置的延伸体；

其中，所述筒状体与所述第一喷嘴层之间形成所述间隔空间；

所述延伸体与所述第一喷嘴层的内壁连接；或者，所述延伸体设置于所述坩埚本体的内部，与所述坩埚本体连接。

可选地，所述的坩埚，其中，所述坩埚还包括：

设置于所述坩埚本体内部的移动调节组件，所述移动调节组件与所述第二喷嘴层连接；

其中，所述移动调节组件被配置为使所述第二喷嘴层能够相对于所述第一喷嘴层上下移动和/或绕轴心旋转。

可选地，所述的坩埚，其中，所述移动调节组件包括：

第一驱动电机；

第二驱动电机；

与所述第一驱动电机连接的旋转驱动结构；