[发明专利]硅料微波加热装置

权利要求书

1.一种硅料微波加热装置，其特征在于：包括机架(5)，机架(5)上设置水槽(6)和加热腔，水槽(6)上方设有置物篮(7)，置物篮(7)连接升降装置，升降装置安装在移动装置上，加热腔外侧面设置微波发射源(13)，加热腔包括上腔体(12)和下腔体(14)，上腔体(12)和下腔体(14)设置为开合式结构。

2.根据权利要求1所述的硅料微波加热装置，其特征在于：上腔体(12)和下腔体(14)一侧铰接，另一侧开合，开合端朝向设有水槽(6)的一端，下腔体(14)和机架(5)之间设置腔体升降气缸(15)。

3.根据权利要求2所述的硅料微波加热装置，其特征在于：微波发射源(13)布置在除腔体升降气缸(15)布置侧的另外侧面上为其中任意一侧表面或者其中多个侧面。

4.根据权利要求1所述的硅料微波加热装置，其特征在于：升降装置包括置物升降气缸(1)，置物升降气缸(1)底部连接置物支架，置物支架包括横杆(2)，横杆(2)两端分别设置竖杆(8)，竖杆(8)底部之间连接置物篮(7)。

5.根据权利要求4所述的硅料微波加热装置，其特征在于：置物支架两侧设置限位架(4)，限位架(4)固定在移动装置上，竖杆(8)和移动装置之间设置滑轮(9)，移动装置包括移动气缸(11)，移动气缸(11)连接移动架(10)，限位架(4)固定在移动架(10)上，移动架(10)底部外周设置滚轮(3)。

6.根据权利要求1所述的硅料微波加热装置，其特征在于：移动装置包括移动气缸(11)，移动气缸(11)连接移动架(10)，移动架(10)连接升降装置，移动架(10)底部外周设置滚轮(3)。

7.根据权利要求1所述的硅料微波加热装置，其特征在于：上腔体(12)和下腔体(14)均包括外腔壁、保温层、内腔壁，内腔和外腔的形状相同。

8.根据权利要求7所述的硅料微波加热装置，其特征在于：外腔壁为金属材质，保温层是石棉、硅酸铝、氧化铝、莫来石其中一种或者多种，内腔壁为氧化铝、石英或陶瓷其中一种或者多种。

9.根据权利要求1所述的硅料微波加热装置，其特征在于：在加热腔内壁上偏离微波发射源(13)垂直射入的位置，布置有吸波材料。

10.根据权利要求9所述的硅料微波加热装置，其特征在于：吸波材料是碳化硅、石墨、磁性其中一种或者多种，布置方式采用刷涂、喷涂，或开槽嵌入式。