[发明专利]一种柔性OLED显示面板的后段激光制程整合设备在审
申请号: | 201910594613.5 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN110364460A | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 赖耀升;金渶桓;江建志;蔡成周;王为新 | 申请(专利权)人: | 恩利克(浙江)智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L51/56 |
代理公司: | 杭州永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314100 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支架 定位治具 制程 激光 移动机构 整合设备 直线模组 激光器 上端 后段 底座 玻璃基板划线 玻璃基板 玻璃激光 激光剥离 设备实现 生产技术 左右两侧 支架处 空置 整合 切割 装载 自动化 穿过 | ||
1.一种柔性OLED显示面板的后段激光制程整合设备,包括机架(1)和设置于所述机架(1)上端的底座(2),其特征在于,所述底座(2)上端设置支架(3),所述支架(3)具有四层,所述支架(3)的底层空置,X轴直线模组(4)上设有定位治具(5),所述定位治具(5)上装载OLED显示面板,所述定位治具(5)通过所述X轴直线模组(4)从所述支架(3)的底层穿过;所述支架(3)的左右两侧分别设置第一移动机构(6)和第二移动机构(7);所述第一移动机构(6)和第二移动机构(7)均设置于所述X轴直线模组(4)的上方;
所述支架(3)的二层设置皮秒IR激光器(8),通过设置的多个激光反射镜,将激光反射至安装于所述第一移动机构(6)处的IR激光镜头(81);
所述支架(3)的三层设置纳秒UV激光器(9),通过设置的多个激光反射镜,将激光反射至安装于所述第二移动机构(7)处的纳秒UV激光镜头(91);
所述支架(3)的顶层设置皮秒UV激光器(10),通过设置的多个激光反射镜,将激光反射至安装于所述第一移动机构(6)处的UV划线激光镜头(101)和UV去PI激光镜头(102)。
2.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示面板的后段激光制程整合设备,其特征在于:所述第一移动机构(6)包括第一固定架(61)、设置于所述第一固定架(61)上的第一Y轴直线模组(62)、与所述第一Y轴直线模组(62)的滑块相连接的第一Z轴直线模组(63),以及与所述第一Z轴直线模组(63)的滑块相连接的第一固定板(64),所述第一固定板(64)的侧面设有第一固定块(65),所述IR激光镜头(81)固定于所述第一固定块(65)处,所述第一固定板(64)处还设置有摄像头(66),所述摄像头(66)向下设置,所述IR激光镜头(81)向下照射。
3.根据权利要求2所述的一种柔性OLED显示面板的后段激光制程整合设备,其特征在于:所述第一移动机构(6)的左侧设有第一支撑架(82),所述第一支撑架(82)上端设有第二激光反射镜(83),所述皮秒IR激光器(8)的激光光路上设有第一激光反射镜(84),所述第二激光反射镜(83)的上方设有第三激光反射镜(86),第一安装架固定于所述第一固定架(61)的上端且将所述第三激光反射镜(86)设于第二激光反射镜(83)的正上方,所述第一固定块(65)的正上方还设有第四激光反射镜(87),所述第四激光反射镜(87)通过第一定位架与第一Y轴直线模组(62)的滑块相连接,皮秒IR激光器(8)发出的激光分别经第一激光反射镜(84)、第二激光反射镜(83)、第三激光反射镜(86)和第四激光反射镜(87)反射入IR激光镜头(81)。
4.根据权利要求3所述的一种柔性OLED显示面板的后段激光制程整合设备,其特征在于:第一扩束器(85)设置于所述皮秒IR激光器(8)和第一激光反射镜(84)之间,或设置于第一激光反射镜(84)和第二激光反射镜(83)之间,或设置于第二激光发射镜(83)和第三激光反射镜(86)之间,或设置于第三激光反射镜(86)和第四激光反射镜(87)之间。
5.根据权利要求1所述的一种柔性OLED显示面板的后段激光制程整合设备,其特征在于:所述第二移动机构(7)包括第二固定架(71)、设置于所述第二固定架(71)上的第二Y轴直线模组(72)、与所述第二Y轴直线模组(72)的滑块相连接的第二Z轴直线模组(73),以及与所述第二Z轴直线模组(73)的滑块相连接的第二固定板(74),所述第二固定板(74)的侧面设有第二固定块(75),所述第二固定块(75)上固定设置纳秒UV激光镜头(91)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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