[发明专利]一种Micro-OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法在审
| 申请号： | 201910595662.0 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110174414A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王世锐;林志阳 | 申请（专利权）人： | 厦门特仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学检测设备 光学检测 检测系统 晶圆片 过滤器 光谱仪 控制系统 暗室 分光 检测 电气控制模块 控制系统信号 半导体检测 设备可靠性 测试 工业电脑 三轴运动 显示系统 控制柜 探针台 分辨率 模组 应用 配合 检查 | ||
1.一种Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：包括检测系统、控制系统和显示系统；
所述检测系统包括过滤器，所述过滤器与光学检测暗室连接，所述光学检测暗室四周设置有外框，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD图像控制器；所述分光式光谱仪与三轴运动模组连接；
所述光学检测暗室的底侧设置有探针台；
所述检测系统与所述控制系统信号连接，所述控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块；
所述检测系统与显示系统信号连接。
2.根据权利要求1所述的Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：所述探针台的底侧设置有防震座。
3.根据权利要求1所述的Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：所述控制系统设置有UPS不间断电源。
4.根据权利要求1所述的Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：所述检测系统与检测系统采用CIM协议和工厂系统交互连接。
5.根据权利要求1所述的Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：所述过滤器为FFU过滤器。
6.根据权利要求1所述的Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：所述CCD图像控制器为4300M_CCD图像控制器。
7.根据权利要求1所述的Micro-OLED产品光学检测设备，其特征在于：所述控制柜内设置有装工控机和电气配件。
8.一种采用如权利要求1-7任一项所述Micro-OLED产品光学检测设备的晶圆片检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤a、待测试产品放置于探针台上料口，控制系统控制探针台实现自动上下料；
步骤b、控制系统控制SMU模块对晶圆片上面的die产品进行通电，并通过电路检测检测电流、电压参数是否符合规格要求；
步骤c、控制系统控制三轴运动模组和探针台实现光谱仪对die 产品进行光学参数测试，并判断检测色度是否符合规格要求；
步骤d、控制系统控制三轴运动模组和探针台实现CCD图像控制器对Die 产品进行光学参数测试，并判断像素级别亮度和点线面、Mura的AOI光学参数是否符合规格要求；
步骤e、控制系统根据SMU模块、光谱仪和CCD图像控制器的检测结果，对测试产品进行综合判断。
9.根据权利要求8所述的Micro-OLED产品光学检测设备的晶圆片检测方法，其特征在于：步骤e中，控制系统将晶圆片上Die的检测信息采用不同的颜色进行成像输出，并在所述显示系统上形成产品信息报告。
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