[发明专利]一种Micro-OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法

说明书

本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种Micro‑OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法。其中，光学检测设备包括检测系统、控制系统和显示系统；检测系统包括过滤器，过滤器与光学检测暗室连接，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD；分光式光谱仪与三轴运动模组连接；光学检测暗室的底侧设置有探针台；检测系统与控制系统信号连接，控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块。本发明首次提供了一种Micro‑OLED产品光学检测设备配合测试方法能够对Micro‑OLED晶圆片进行检测，具有检查分辨率高，测试效力可达到平均3‑4秒/die，设备可靠性和稳定高，在Micro‑OLED产品的光学检测上具有重要的实际应用价值。

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种Micro-OLED产品光学检测设备及晶圆片检测方法。

背景技术

面板是AR/VR技术的重要载体。之前由于AR/VR技术本身还未完善，导致市场对面板的需求没有迫切，但现在的情况却不同了，AR/VR技术除了在娱乐方面的应用外，在医疗、军事、工业维修、城市建设等领域都有投入应用。AR/VR市场逐步扩大，对于面板的要求也越来越高，旧有的LCD显示器和OLED显示器已经跟不上越来越高的市场需求。随着这种需求愈加迫切，厂商们必将会寻找新的屏幕显示技术来替代现有的LCD或是OLED显示器，而这种新技术，就是有机发光二极管微显示技术Micro-OLED。

相较于普通OLED显示器件以玻璃为背板，OLED微显示器件采用单晶硅晶圆(Wafer)为背板，除具有OLED自发光、厚度薄、质量轻、视角大、响应时间短、发光效率高等特性外，更容易实现高PPI(像素密度)、体积小、易于携带、功耗低等优异特性，特别适合应用于头盔显示器、立体显示镜以及眼镜式显示器等AR/VR显示设备。也就是说，Micro-OLED能让人们抛弃以往他们心目中AR/VR显示设备屏幕厚重的刻板印象，让AR/VR技术更加地在人群中普及，带动更大的产品需求。在国家以供给侧结构性改革引领产业转型升级的背景下，新型显示产业对于提升我国在信息技术、材料技术、装备技术、系统技术及国家安全等方面具有非常重要的意义；因此，如何对Micro-OLED产品实现自动化测试，是本领域需要解决的技术问题。

发明内容

为解决上述背景技术中存在的问题，本发明提供一种Micro-OLED产品光学检测设备，包括检测系统、控制系统和显示系统；

所述检测系统包括过滤器，所述过滤器与光学检测暗室连接，所述光学检测暗室四周设置有外框，其内部包括相互连接的分光式光谱仪和CCD图像控制器；所述分光式光谱仪与三轴运动模组连接；

所述光学检测暗室的底侧设置有探针台；

所述检测系统与所述控制系统信号连接，所述控制系统包括控制柜、电气控制模块、SMU模块、工业电脑和CCD控制模块；

所述检测系统与显示系统信号连接。

在上述技术方案的基础上，进一步地，所述探针台的底侧设置有防震座。

在上述技术方案的基础上，进一步地，所述控制系统设置有UPS不间断电源。

在上述技术方案的基础上，进一步地，所述检测系统与检测系统采用CIM协议和工厂系统交互连接。

在上述技术方案的基础上，进一步地，所述过滤器为FFU过滤器。

在上述技术方案的基础上，进一步地，所述CCD图像控制器为4300M_CCD图像控制器。

在上述技术方案的基础上，进一步地，所述控制柜内设置有装工控机和电气配件。

本发明还提供一种采用如上任意所述Micro-OLED产品光学检测设备进行的晶圆片检测方法，包括以下步骤：