[发明专利]控制装置、曝光装置、以及制造物品的方法

权利要求书

1.一种用于执行同步控制的控制装置，所述同步控制用于同步第二移动部件的驱动以跟随第一移动部件的驱动，所述控制装置包括：

反馈控制系统，所述反馈控制系统被配置为对所述第一移动部件和第二移动部件中的每一个执行反馈控制，以减小与目标位置的位置偏差；以及

前馈控制系统，所述前馈控制系统被配置为在所述反馈控制正在被执行的状态下，通过向所述第二移动部件提供前馈操纵变量来执行前馈控制，以减小所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差，

其中，所述前馈控制系统包括计算器，所述计算器被配置为：

在所述第二移动部件正在保持静止并且向所述第二移动部件提供前馈操纵变量的状态下，获得所述第二移动部件的输入/输出响应；

获得彼此同步地驱动所述第一移动部件和第二移动部件时所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差；

基于所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差以及所述第二移动部件的输入/输出响应计算所述前馈操纵变量，所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差是从所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差获得的；

在对所述第一移动部件正在执行反馈控制并且对所述第一移动部件不执行前馈控制的状态下，通过在驱动所述第一移动部件的同时测量所述第一移动部件的位置偏差来获得第一数据；

在通过向所述第一移动部件提供基于获得的第一数据和所述第一移动部件的输入/输出响应而计算的操纵变量正在执行前馈控制并且对所述第一移动部件和第二移动部件中的每一个正在执行反馈控制的状态下，通过在彼此同步地驱动所述第一移动部件和第二移动部件的同时测量所述第一移动部件和第二移动部件的位置偏差来获得第二数据；以及

从获得的第二数据计算所述第一移动部件与第二移动部件之间的同步误差。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述前馈控制系统包括被配置为存储由所述计算器计算的所述前馈操纵变量的存储单元，并且在执行同步控制时向所述第二移动部件提供存储在所述存储单元中的所述前馈操纵变量。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述前馈控制系统包括被配置为驱动所述第二移动部件的驱动单元以及所述驱动单元的驱动器，并且所述前馈控制系统向所述驱动器的输入提供存储在所述存储单元中的所述前馈操纵变量。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，在执行同步控制时，所述前馈控制系统向所述第一移动部件提供所述操纵变量，并且执行前馈控制以减小所述第一移动部件的位置偏差。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二移动部件的输入/输出响应包括脉冲响应和阶梯响应中的一个。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述第二移动部件包括被配置为保持基板的基板台架，并且

所述第一移动部件包括被配置为保持掩模版的掩模版台架，所述掩模版具有要被转印到所述基板的图案。