[发明专利]一种快速散热的陶瓷磨盘装置

权利要求书

1.一种极速散热的磨盘装置，其特征在于，α多晶碳化无压烧结或等静压成型。

2.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，磨盘齿纹为一次干压成型，二次打磨，表面锉齿纹。

3.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，磨盘材质为440℃不锈钢热锻成型，二次车削加工，表面喷涂镀钛纳米金刚石30-50μm，在1010-1070℃高温，热静压20-50MPa下，真空热扩散纳米金刚石，加工淬火热处理。

4.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，盘厚15mm，边界层为2mm，表层纳米金刚石弥散增强PTFE(聚四氟乙烯水溶液)350℃固话处理。

5.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，磨盘底部双段螺旋式齿纹，强化湍流换热。

6.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，采用中空滑环供液，滑环套于主动轴上。

7.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，冷却液从轴中心进，从边缘处出。

8.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，上盛水盘与滑环一体。

9.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，本机为一体化结构，磨盘、盛水盘、多通路滑环一体化设计。

10.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，本机采用湍流换热。

11.根据权利要求1所述的磨盘装置，其特征在于，本机采用液滴冷凝技术。