[发明专利]曝光装置及曝光加工方法

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，包括：

激光输出模块，用于输出激光束；

曝光镜头，所述激光输出模块所输出的激光束通过光路系统传至所述曝光镜头，所述曝光镜头包括多个呈矩形点阵布置的调光通道，多个所述调光通道通过选择性地开闭，形成入射至工件的曝光图案；

载台，用于承载所述工件，所述载台上设有能量检测模块，所述能量检测模块依次检测所述曝光镜头的各所述调光通道所出射的激光束的能量，并获得所述曝光镜头的出射光束的曝光能量；

移动机构，用于驱使所述曝光镜头与所述载台相对运动，以使得所述曝光镜头的多个所述调光通道依次与所述能量检测模块相对；

控制模块，用于根据所述能量检测模块所检测的曝光能量调整所述激光输出模块的输出功率并使得输出的曝光能量保持一致；当所述曝光镜头相对所述载台移动并对所述载台上的工件进行曝光时，所述控制模块能够控制所述曝光镜头的所述调光通道选择性地开闭，以调整所述曝光图案，从而在工件上进行多次曝光加工后，形成较大的曝光幅面。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光装置包括能够安装所述移动机构的工作台，所述移动机构包括第一滑板、第二滑板、第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一滑板滑动设置在所述工作台上，所述第二滑板可滑动地叠设于所述第一滑板，所述载台与所述第二滑板相连接；所述第一驱动组件能够驱使所述第一滑板沿第一方向移动，所述第二驱动组件能够驱使 所述第二滑板沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述移动机构还包括升降组件，所述升降组件能够驱使所述曝光镜头相对所述载台升降运动。

4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述移动机构还包括升降组件，所述升降组件设于所述第二滑板，并能够驱使所述载台相对所述第二滑板升降运动。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述升降组件包括固定板、活动板和驱动电机，所述固定板与所述第二滑板固定连接，所述活动板与所述固定板滑动连接，所述载台的底部与所述活动板相连接，所述驱动电机安装于所述固定板，且能够驱使所述活动板升降运动。

6.根据权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，所述工作台上开设有第一避空槽，所述第一滑板上开设有第二避空槽，所述第二滑板上开设有第三避空槽，所述第一避空槽、所述第二避空槽和所述第三避空槽能够为所述升降组件提供避空空间；所述固定板具有固定端和悬空端，所述固定端与所述第二滑板相连接，所述悬空端从所述第二避空槽和第三避空槽伸至所述工作台的下方，所述驱动电机安装于所述固定板位于所述工作台下方的部分结构。

7.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一驱动组件和/或所述第二驱动组件包括丝杠、螺母座和电机，所述丝杠与所述螺母座相连接，所述电机的输出轴与所述丝杠联动连接，以在所述电机的输出轴转动时，所述丝杠螺合传动所述螺母座沿所述丝杠移动。

8.根据权利要求1-7任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述能量检测模块包括激光功率计或激光能量计。

9.一种曝光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供权利要求1至8任一项所述的曝光装置；

使所述能量检测模块处于所述曝光镜头的曝光焦面处；

所述能量检测模块检测所述曝光镜头出射光束的曝光能量；

所述控制模块根据所述能量检测模块所检测的曝光能量调整所述激光输出模块的输出功率，使得所述能量检测模块所检测的曝光能量达到预设范围；

控制模块控制所述曝光镜头的所述调光通道选择性地开闭，调整入射至工件的曝光图案；

驱使所述曝光镜头与所述载台相对运动，所述激光输出模块通过曝光镜头出射光束对所述载台上的工件进行曝光。