[发明专利]曝光装置及曝光加工方法

说明书

本发明涉及一种曝光装置及曝光加工方法，该曝光装置包括激光输出模块、曝光镜头、载台、移动机构和控制模块，激光输出模块所输出的激光束通过光路系统传至曝光镜头，曝光镜头包括多个调光通道，多个调光通道通过选择性地开闭，形成曝光图案；载台上设有能量检测模块，能量检测模块能够检测曝光镜头的曝光能量；控制模块用于根据曝光能量调整激光输出模块的输出功率；当曝光镜头相对载台移动并对载台上的工件进行曝光时，控制模块调整曝光图案。本发明的曝光装置及曝光加工方法，能量检测模块检测并通过控制模块对激光输出模块调控，并采取移动曝光的方式对工件进行大幅面曝光，确保曝光能量一致，提高曝光效果，且无需多套光路组合，降低了成本。

技术领域

本发明属于激光应用技术领域，尤其涉及曝光装置及曝光加工方法。

背景技术

随着激光技术的发展，DLP(Digital Light Procession，数字光处理)技术被广泛的应用在显示面板加工以及芯片光蚀刻等领域。在对尺寸较大的工件时，曝光幅面较为受限，通常需要利用多套光路组合来增大曝光幅面，以提高曝光效率。这种方式固然能够在一定程度上改善曝光效率，然而，在使用多套光路时，由于器件自身的不一致，例如光源出光能量偏差、镜头倍率偏差、各零部件光学效率偏差等因素，以及装配调试的不一致，例如零部件相对位置偏差、镜头工作距偏差、曝光时间偏差等因素，导致多套光路所对应的各光学头能量难以保持输出一致，在进行曝光时，难以形成统一曝光效果，影响工件加工质量。此外，这种方式下，需要搭建多套光路，成本较高，不利于DLP技术的推广应用。

发明内容

基于此，有必要提供一种能够提高曝光效果且降低成本的曝光装置及曝光加工方法。

一方面，本发明提供一种曝光装置，包括：

激光输出模块，用于输出激光束；

曝光镜头，所述激光输出模块所输出的激光束通过光路系统传至所述曝光镜头，所述曝光镜头包括多个呈矩形点阵布置的调光通道，多个所述调光通道通过选择性地开闭，形成入射至工件的曝光图案；

载台，用于承载所述工件，所述载台上设有能量检测模块，所述能量检测模块能够检测所述曝光镜头的出射光束的曝光能量；

移动机构，用于驱使所述曝光镜头与所述载台相对运动；

控制模块，用于根据所述能量检测模块所检测的曝光能量调整所述激光输出模块的输出功率；当所述曝光镜头相对所述载台移动并对所述载台上的工件进行曝光时，所述控制模块能够控制所述曝光镜头的所述调光通道选择性地开闭，以调整所述曝光图案。

在其中一个实施方式中，所述曝光装置包括能够安装所述移动机构的工作台，所述移动机构包括第一滑板、第二滑板、第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一滑板滑动设置在所述工作台上，所述第二滑板可滑动地叠设于所述第一滑板，所述载台与所述第二滑板相连接；所述第一驱动组件能够驱使所述第一滑板沿第一方向移动，所述第二驱动组件能够所述第二滑板沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

在其中一个实施方式中，所述移动机构还包括升降组件，所述升降组件能够驱使所述曝光镜头相对所述载台升降运动。

在其中一个实施方式中，所述移动机构还包括升降组件，所述升降组件设于所述第二滑板，并能够驱使所述载台相对所述第二滑板升降运动。

在其中一个实施方式中，所述升降组件包括固定板、活动板和驱动电机，所述固定板与所述第二滑板固定连接，所述活动板与所述固定板滑动连接，所述载台的底部与所述活动板相连接，所述驱动电机安装于所述固定板，且能够驱使所述活动板升降运动。