[发明专利]一种片盒清洗装置及方法有效

专利信息
申请号: 201910605488.3 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN110335839B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 史进;李在桓 申请(专利权)人: 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;胡影
地址: 710000 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种片盒清洗装置,其特征在于,包括:

腔体,所述腔体包括清洗腔室和干燥腔室;

隔离板,位于所述腔体内部,所述隔离板具有关闭状态和开启状态,在关闭状态下,用于隔离所述清洗腔室和所述干燥腔室,在开启状态下,所述清洗腔室和所述干燥腔室连通;

片盒支架,位于所述腔体内部,用于承载片盒;

驱动机构,所述片盒支架设置于所述驱动机构上,所述驱动机构能够驱动所述片盒支架在所述清洗腔室和所述干燥腔室之间移动,且能够驱动所述片盒支架旋转;

所述隔离板上开设有开孔;

密封圈,设于所述开孔内,所述密封圈的内圈与所述驱动轴接触,外圈与所述隔离板接触;

所述隔离板为光圈式隔离板;

所述驱动机构包括:

驱动轴,所述驱动轴穿过所述开孔两端分别位于所述清洗腔室和所述干燥腔室内,所述片盒支架设于所述驱动轴上,所述驱动轴竖直设置;

驱动马达,与所述驱动轴连接,用于驱动所述驱动轴旋转,所述驱动轴带动所述片盒支架围绕旋转轴旋转。

2.根据权利要求1所述的片盒清洗装置,其特征在于,所述清洗腔室和所述干燥腔室在竖直方向上叠放,其中,所述干燥腔室位于所述清洗腔室的上方。

3.根据权利要求1所述的片盒清洗装置,其特征在于,所述片盒支架包括第一支架和第二支架,所述第一支架和所述第二支架能够沿所述驱动轴在所述腔体内移动,所述第一支架中放置片盒的平面和与所述第二支架中放置片盒的平面在轴向方向上不重合。

4.根据权利要求1所述的片盒清洗装置,其特征在于,

所述清洗腔室包括设置在所述腔体上的第一舱门;

所述干燥腔室包括设置在所述腔体上的第二舱门。

5.一种片盒清洗方法,应用于权利要求1-4中任一项所述的片盒清洗装置,其特征在于,包括:

将待清洗的第一片盒固定在片盒支架上,所述片盒支架位于清洗腔室内部;

对所述第一片盒进行清洗处理;

控制隔离板打开,将所述片盒支架移动到干燥腔室内部;

控制所述隔离板关闭,并对所述第一片盒进行干燥处理。

6.根据权利要求5所述的片盒清洗方法,其特征在于,应用于权利要求5中所述的片盒清洗装置,其中,所述片盒支架为第一支架;

所述将所述片盒支架移动到干燥腔室内部之后,还包括:将待清洗的第二片盒固定在第二支架上,所述第二支架位于所述清洗腔室内部;

所述并对所述第一片盒进行干燥处理时,还包括:对所述第二片盒进行清洗处理。

7.根据权利要求5所述的片盒清洗方法,其特征在于,应用于权利要求4中所述的片盒清洗装置,所述将待清洗的第一片盒固定在片盒支架上之前,还包括:通过第一舱门将所述第一片盒放入腔体内;

所述并对所述第一片盒进行干燥处理之后,还包括:通过第二舱门将所述第一片盒取出。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司,未经西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910605488.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top