[发明专利]易挥发液态化学品供应系统及供应方法

权利要求书

1.一种易挥发液态化学品供应系统，其特征在于，所述供应系统包括：

供应槽，用于承载化学品；

化学品输入管路，所述化学品输入管路用于向所述供应槽输入化学品，所述化学品输入管路设有开关控制阀；

液位侦测器，设置于所述供应槽中并与所述开关控制阀连接，用于在侦测到所述供应槽内的化学品液位超过预设液位时，发送液位控制信号至所述开关控制阀以切断所述化学品输入管路的输入；

重量侦测器，设置于所述供应槽下方并与所述开关控制阀连接，用于在侦测到所述供应槽与其内部的化学品的重量超过预设重量值时，发送重量控制信号至所述开关控制阀以切断所述化学品输入管路的输入；

供应管路，用于将所述供应槽内的化学品供应至机台。

2.根据权利要求1所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：所述化学品为包括易挥发、具有易燃、易爆、有毒、有害之一或两种以上特性的液态化学品。

3.根据权利要求2所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：所述化学品包括反-1，2-二氯乙烯。

4.根据权利要求1所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：所述重量侦测器包括称重天平，所述供应槽放置于所述称重天平上。

5.根据权利要求1所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：还包括液体载流气体输入管路，用于向所述供应槽的化学品内输入液体载流气体。

6.根据权利要求1所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：所述液体载流气体输入管路及所述供应管路中还设有开关控制阀。

7.根据权利要求6所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：所述液体载流气体包括氮气及氩气中的一种。

8.根据权利要求1所述的易挥发液态化学品供应系统，其特征在于：所述预设液位与所述预设重量对应所述供应槽内相等的化学品容量。

9.一种如权利要求1～8任意一项所述易挥发液态化学品供应系统的供应方法，其特征在于，包括：

1)通过所述化学品输入管路向所述供应槽输入化学品；

2)当发生以下情况a)及b)的任一种发生或两种同时发生时，所述开关控制阀切断所述化学品输入管路的输入：

a)所述液位侦测器侦测到所述供应槽内的化学品液位超过预设液位时，所述液位侦测器向所述开光控制阀发送液位控制信号时；

b)当所述重量侦测器侦测到所述供应槽与其内部的化学品的重量超过预设重量值时，所述重量侦测器向所述开关控制阀发送重量控制信号至所述开关控制阀时。