[发明专利]易挥发液态化学品供应系统及供应方法

说明书

本发明提供一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法，系统包括：供应槽；化学品输入管路，用于向供应槽输入化学品，其设有开关控制阀；液位侦测器，用于在侦测到化学品液位超过预设液位时，发送液位控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；重量侦测器，用于在侦测到化学品的重量超过预设重量值时，发送重量控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入；供应管路，用于将化学品供应至机台。本发明的易挥发液态化学品供应系统具有双重安全保障，只要液位侦测器和重量侦测器的其中一路控制信号正常，即可保证化学品及时切断供应，极大的降低了安全风险。本发明的重量侦测器校正方便、更换简单，可大大缩短机台停用时间。

技术领域

本发明属于半导体制造及化学原材料供应领域，特别是涉及一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法。

背景技术

在半导体制造工艺中，经常需要使用易挥发、具有易燃、易爆、有毒、有害之一或两种以上特性的液态化学品，比如，反-1，2-二氯乙烯可以用在高温生长硅氧化薄膜的工艺中。反-1，2-二氯乙烯是一种化学物品，常温下呈液态，无色略带刺激性气味，易挥发，易燃，其蒸汽与空气接触可形成爆炸性混合物，该爆炸性混合物遇明火或高温会引起燃烧爆炸。在空气中受热分解会释放出剧毒的光气和氯化氢气体。

基于易挥发液态化学品的这些特性，易挥发液态化学品如反-1，2-二氯乙烯在存储，运输及使用过程中要特别注意安全问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法，用于解决现有技术中易挥发液态化学品供应系统中的化学品存在溢出泄漏等风险的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种易挥发液态化学品供应系统，所述供应系统包括：供应槽，用于承载化学品；化学品输入管路，所述化学品输入管路用于向所述供应槽输入化学品，所述化学品输入管路设有开关控制阀；液位侦测器，设置于所述供应槽中并与所述开关控制阀连接，用于在侦测到所述供应槽内的化学品液位超过预设液位时，发送液位控制信号至所述开关控制阀以切断所述化学品输入管路的输入；重量侦测器，设置于所述供应槽下方并与所述开关控制阀连接，用于在侦测到所述供应槽与其内部的化学品的重量超过预设重量值时，发送重量控制信号至所述开关控制阀以切断所述化学品输入管路的输入；供应管路，用于将所述供应槽内的化学品供应至机台。

可选地，所述化学品为包括易挥发、具有易燃、易爆、有毒、有害之一或两种以上特性的液态化学品。

可选地，所述化学品包括反-1，2-二氯乙烯。

可选地，所述重量侦测器包括称重天平，所述供应槽放置于所述称重天平上。

可选地，所述易挥发液态化学品供应系统还包括液体载流气体输入管路，用于向所述供应槽的化学品内输入液体载流气体。

可选地，所述液体载流气体输入管路及所述供应管路中还设有开关控制阀。

可选地，所述液体载流气体包括氮气及氩气中的一种。

可选地，所述预设液位与所述预设重量对应所述供应槽内相等的化学品容量。

本发明还提供一种易挥发液态化学品供应系统的供应方法，所述供应方法包括以下步骤：1)通过所述化学品输入管路向所述供应槽输入化学品；2)当发生以下情况a)及b)的任一种发生或两种同时发生时，所述开关控制阀切断所述化学品输入管路的输入：a)所述液位侦测器侦测到所述供应槽内的化学品液位超过预设液位时，所述液位侦测器向所述开光控制阀发送液位控制信号时；b)当所述重量侦测器侦测到所述供应槽与其内部的化学品的重量超过预设重量值时，所述重量侦测器向所述开关控制阀发送重量控制信号至所述开关控制阀时。

如上所述，本发明的易挥发液态化学品供应系统及供应方法，具有以下有益效果：