[发明专利]一种阳极组件及其应用在审
申请号: | 201910608394.1 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN110257886A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 史蒂文·贺·汪 | 申请(专利权)人: | 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司 |
主分类号: | C25D17/10 | 分类号: | C25D17/10;C25D3/38 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 王卫彬;何敏清 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电基体 阳极组件 保护层 均匀性 导电基体表面 电镀工件 电镀工艺 电路电流 阳极本体 电镀 电镀层 电阻 钝化 应用 | ||
1.一种阳极组件,其特征在于,所述阳极组件包括导电基体和设于所述导电基体上的阳极本体,所述导电基体的表面具有保护层。
2.如权利要求1所述的阳极组件,其特征在于,所述阳极组件由导电基体和设于所述导电基体上的阳极本体组成,所述导电基体的表面具有保护层。
3.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述阳极组件为用于电镀的阳极组件;
和/或,所述导电基体的材料为钛、铂、铱和铟中的一种或多种;较佳地,所述导电基体的材料为钛;
和/或,所述保护层的材料导电或不导电,当所述保护层不导电时,所述保护层覆盖于所述导电基体与所述阳极本体的接触面之外的区域;当所述保护层导电时,所述保护层覆盖于所述导电基体的整个表面或部分表面,所述部分表面指所述导电基体与所述阳极本体的接触面之外的区域。
4.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述保护层的材料为惰性金属、氧化物和绝缘材料中的一种或多种。
5.如权利要求4所述的阳极组件,其特征在于,所述惰性金属通过涂覆或镀覆的方法在所述导电基体的表面形成惰性金属层;
和/或,所述惰性金属的化学活性或电化学活性较所述导电基体低;所述惰性金属为铟、铱和铂中的一种或多种;
和/或,所述氧化物为金属氧化物,所述金属优选为所述导电基体的材料;
和/或,所述氧化物通过钝化处理或涂覆的方法在所述导电基体的表面形成氧化物层;
和/或,所述绝缘材料为特氟龙;
和/或,所述绝缘材料通过喷涂或涂覆的方法在所述导电基体与所述阳极本体的接触面之外的区域表面形成绝缘保护层。
6.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述保护层的厚度为0.5~1.0微米。
7.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述导电基体具有一个或多个贯穿的孔。
8.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述阳极本体的材料为可溶性阳极材料;
和/或,所述阳极本体的侧表面也具有所述保护层;
和/或,所述阳极本体的数量为一个或多个,所述导电基体与所述阳极本体的数量相同、形状相应;当所述阳极本体的数量为多个时,各阳极本体互不导通;当所述阳极本体的数量为多个时,各阳极本体的体积优选为相同;当所述阳极本体的数量为多个时,所述阳极本体互相套设且同轴,其中位于中心的阳极本体为圆柱体,其他的阳极本体为环状结构。
9.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述导电基体和所述阳极本体通过一个或多个紧固件连接,所述紧固件贯穿或不贯穿所述阳极本体;所述紧固件优选为螺丝;所述紧固件的数量优选为2~6个。
10.如权利要求1或2所述的阳极组件,其特征在于,所述导电基体设有导电柱,通过所述导电柱与电源正极连接;
较佳地,所述导电柱的材料与所述导电基体相同;
较佳地,每个所述导电基体上设有2根导电柱;
较佳地,所述导电柱的表面具有所述保护层。
11.一种如权利要求1~10任一项所述的阳极组件在电镀中的应用。
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