[发明专利]一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具在审
| 申请号： | 201910618312.1 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110257802A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 余伟 | 申请（专利权）人： | 南京爱通智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京先科专利代理事务所(普通合伙) 32285 | 代理人： | 孙甫臣 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 齿条 载具 原子层沉积设备 底部件 顶部件 速热 生产周期 载具框架 中空结构 侧部件 装载量 平行 | ||
1.一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，其特征在于，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。
2.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。
3.根据权利要求2所述的速热载具，其特征在于，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。
4.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。
5.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。
6.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有多个齿条，所述齿条与侧部齿条平行；所述顶板的上端和底板的下端均设有导气槽。
7.根据权利要求1-6任一项所述的速热载具，其特征在于，所述齿条由金属制成。
8.根据权利要求2-6任一项所述的速热载具，其特征在于，所述顶板、底板均由金属制成。
9.根据权利要求2或3所述的速热载具，其特征在于，所述侧板由金属制成。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
