[发明专利]一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具

说明书

本发明公开一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。本发明能够提高载具的装载量和缩短ALD设备的生产周期。

技术领域

本发明涉及光伏电池制造技术领域，具体涉及一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具。

背景技术

随着光伏产业的规模化和光伏技术的迅速发展，超大产量原子层沉积（ALD）技术成为光伏产品降本增效的有效途径。对于ALD技术自身降低成本的最有效途径就是提高其设备如晶圆（硅片）的产量，而对于批入批出式ALD设备，有效提高ALD设备载具的装载量和缩短生产周期非常关键。

发明内容

发明目的：本发明目的在于针对现有技术的不足，提供一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，能够提高载具的装载量和缩短ALD设备的生产周期。

技术方案：本发明所述一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。

优选地，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。

优选地，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。

优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。

优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。

优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有多个齿条，所述齿条与侧部齿条平行；所述顶板的上端和底板的下端均设有导气槽。

优选地，所述齿条由金属制成。

优选地，所述顶板、底板均由金属制成。

优选地，所述侧板由金属制成。

所述金属优选铝合金、不锈钢、钛合金。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

（1）本发明设置至少部分为中空结构的齿条，在实施时，将ALD设备如晶圆（硅片）置于齿条的中空结构中，热媒（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ALD设备直接接触，能够对ALD设备进行快速加热或冷却。

（2）本发明能够有效杜绝载具划伤，能够有效减少绕镀，绕镀厚度为镀层厚度的50%以下。

（3）本发明的齿条等结构优选采用金属制成，如铝合金或铝镁合金，能够达到ALD工艺要求，同时减少了载具成本，有效增加了转运和加热效率。

附图说明

图1为本发明实施例1的主视图。

图2为本发明实施例1的俯视图。

图3为本发明实施例1的侧视图。

图4为本发明实施例2的结构图。

图5为本发明实施例3的结构图。

图6为本发明实施例1实施时的示意图。

附图中，1-顶板，2-底板，3-侧板，4-齿条，5-导气槽，6-硅片，7-热媒。

具体实施方式