[发明专利]一种空心阴极光谱仪光路自动对正方法在审
申请号: | 201910618479.8 | 申请日: | 2019-07-09 |
公开(公告)号: | CN110749577A | 公开(公告)日: | 2020-02-04 |
发明(设计)人: | 李帆;丁妍;刘颖韬;杨党纲;王东升;王强 | 申请(专利权)人: | 中国航发北京航空材料研究院 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01J3/443;G01J3/02 |
代理公司: | 11008 中国航空专利中心 | 代理人: | 陈宏林 |
地址: | 100095 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光路 光谱仪 空心阴极 对正 空心阴极灯 石墨电极 发光位置 激发发光 平移系统 强度信号 阴极钨丝 自动对正 自动实现 最佳位置 移动夹 发光 检测 | ||
1.一种空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
激发空心阴极石墨电极(16)发光并照射到发射光谱仪(10)的分光系统(8)上;
用发射光谱仪(10)的光谱仪检测系统(9)检测分光系统(8)分光后的光的强度并调整空心阴极石墨电极(16)的位置,使检测到的光的强度最大。
2.根据权利要求1所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:空心阴极石墨电极(16)的中空孔内装有粉末或碎屑状的试验样品。
3.根据权利要求1所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:检测的光的强度为光栅直接反射的零级光强度、试验样品基体发射的光强度、空心阴极光源(11)发射的背景光强度或石墨电极(16)发射的C元素谱线强度。
4.根据权利要求1所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:光谱仪检测系统(9)中安装的检测器为光电倍增管或CCD。
5.根据权利要求3所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:
采集光栅直接反射的零级光的光电倍增管负高压为-300V~-460V;
采集试验样品基体发射的光强度的光电倍增管负高压为-300V~-760V;
采集空心阴极光源(11)发射的背景光强度的光电倍增管负高压为-500V~-900V;采集石墨电极(16)发射的C元素谱线强度的光电倍增管负高压为-300V~-700V。
6.根据权利要求1所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:空心阴极石墨电极(16)的位置调整是在垂直于空心阴极光源光线轴线方向(7)的平面上,作相互垂直方向上的移动并同步进行光强度的测量。
7.根据根据权利要求6所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:所述相互垂直方向上的移动为水平或竖直方向上的移动。
8.根据权利要求6或7所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:所述移动步距为0.05mm~0.3mm,移动速度为5步/s~20步/s。
9.根据权利要求6或7所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:所述移动的最大移动距离设定为测定的光强度变化出现四次强度数值的突变后再继续运动10秒,或在1分钟内只出现一次强度数值突变,或在1分钟内没有出现强度数值突变位置。
10.根据权利要求9所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:所述移动的最大移动距离设定为测定的光强度变化出现四次强度数值的突变后,则第二次强度数值突变(2)和第三次强度数值突变(3)对应的位置的中间位置为最佳位置;
如果在1分钟内只出现一次强度数值突变,或在1分钟内没有出现强度数值突变,则提示光路自动对正失败信息。
11.根据权利要求9所述的空心阴极光谱仪光路自动对正方法,其特征在于:所述强度数值的突变采取以下方式判断:
在持续移动过程中,同步采集光强度信号,当5-10秒内测得强度数值的最大值或最小值与这5-10秒内所测得强度数值的平均值的差值,大于等于此平均值的5%-15%时,则判定开始出现强度数值突变;在随后的移动过程中,当5-10秒内测得强度数值的最大值和最小值与这5-10秒内所测得强度数值的平均值的差值,均小于此平均值的5%-15%时,这一次强度数值突变结束,在开始出现强度数值突变到强度数值突变结束的时间内移动距离的中间位置设定为这一次强度数值突变的位置。
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