[发明专利]硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法

权利要求书

1.一种硬掩模组合物，包括：

聚合物，包括由化学式1或化学式2表示的结构单元；以及

溶剂，

[化学式1]

其中，在化学式1中，

R¹到R⁵独立地是氢、氘、卤素、羟基、经取代或未经取代的C1到C10烷基、经取代或未经取代的C1到C30烯基、经取代或未经取代的C1到C30炔基、经取代或未经取代的C1到C30杂烷基、经取代或未经取代的C3到C30环烷基、经取代或未经取代的C1到C30杂环烷基、经取代或未经取代的C1到C30芳基烷基、经取代或未经取代的C6到C30杂芳基烷基、经取代或未经取代的C6到C30芳基、经取代或未经取代的C3到C30杂芳基或其组合，且

R¹到R⁵中的至少一者是具有至少一个羟基的C6到C30芳基或具有至少一个羟基的C3到C30杂芳基，

[化学式2]

其中，在化学式2中，

R⁶到R¹⁰独立地是氢、氘、卤素、羟基、经取代或未经取代的C1到C10烷基、经取代或未经取代的C1到C30烯基、经取代或未经取代的C1到C30炔基、经取代或未经取代的C1到C30杂烷基、经取代或未经取代的C3到C30环烷基、经取代或未经取代的C1到C30杂环烷基、经取代或未经取代的C1到C30芳基烷基、经取代或未经取代的C6到C30杂芳基烷基、经取代或未经取代的C6到C30芳基、经取代或未经取代的C3到C30杂芳基或其组合，且

R⁶到R¹⁰中的至少一者是具有至少一个羟基的C6到C30芳基或具有至少一个羟基的C3到C30杂芳基。

2.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，其中在化学式1及化学式2中，R¹到R⁵中的至少一者及R⁶到R¹⁰中的至少一者各自独立地是以下中的至少一者：羟基苯基、羟基萘基、羟基联苯基、羟基二苯基芴基、羟基二萘基芴基、羟基蒽基、羟基荧蒽基、羟基苊烯基、羟基苊基、羟基菲基、羟基苯并菲基、羟基芘基、羟基三亚苯基、羟基䓛基、羟基并四苯基、羟基苯并荧蒽基、羟基苝基、羟基苯并芘基、羟基萘并蒽基、羟基并五苯基、羟基苯并苝基、羟基二苯并芘基、羟基蔻基、

羟基吡啶基、羟基嘧啶基、羟基三嗪基、羟基吡咯基、羟基咪唑基、羟基吡唑基、羟基吲哚基、羟基异吲哚基、羟基苯并咪唑基、羟基吲唑基、羟基呋喃基、羟基苯并呋喃基、羟基噻吩基、羟基噁唑基、羟基噻唑基、

二羟基苯基、二羟基萘基、二羟基联苯基、二羟基二苯基芴基、二羟基二萘基芴基、二羟基蒽基、二羟基荧蒽基、二羟基苊烯基、二羟基苊基、二羟基菲基、二羟基苯并菲基、二羟基芘基、二羟基三亚苯基、二羟基䓛基、二羟基并四苯基、二羟基苯并荧蒽基、二羟基苝基、二羟基苯并芘基、二羟基萘并蒽基、二羟基并五苯基、二羟基二苯并苝基、二羟基二苯并芘基、二羟基蔻基、

二羟基吡啶基、二羟基嘧啶基、二羟基三嗪基、二羟基吡咯基、二羟基咪唑基、二羟基吡唑基、二羟基吲哚基、二羟基异吲哚基、二羟基苯并咪唑基、二羟基吲唑基、二羟基呋喃基、二羟基苯并呋喃基、二羟基噻吩基、二羟基噁唑基及二羟基噻唑基。

3.根据权利要求1所述的硬掩模组合物，其中在化学式1及化学式2中，R¹到R⁵中的至少一者及R⁶到R¹⁰中的至少一者还包括经取代或未经取代的C6到C30芳基以及经取代或未经取代的C3到C30杂芳基中的至少一者，

其中所述经取代的C6到C30芳基以及所述经取代的C3到C30杂芳基的至少一个氢被以下中的一者置换：氘、卤素、硝基、氰基、氨基、C1到C30烷基、C2到C30烯基、C2到C30炔基、C6到C30芳基、C7到C30芳基烷基、C1到C20杂烷基、C3到C20杂芳基烷基、C3到C30环烷基、C3到C15环烯基、C6到C15环炔基、C2到C30杂芳基及其组合。