[发明专利]一种流态化化学气相沉积锆包覆层的系统及方法有效
申请号: | 201910619516.7 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN110318031B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 朱庆山;向茂乔;赵宏丹;宋淼 | 申请(专利权)人: | 中国科学院过程工程研究所 |
主分类号: | C23C16/06 | 分类号: | C23C16/06;C23C16/44 |
代理公司: | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人: | 陈琳琳;张红生 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化化 学气相 沉积 覆层 系统 方法 | ||
1.一种流态化化学气相沉积锆包覆层的系统,其特征在于,所述系统包括:第一粉体料仓(1)、流化床(2)、气化装置(3)、第一旋风分离装置(4)、第二粉体料仓(5)、待包覆材料料仓(6)、包覆流化床(7)、第二旋风分离装置(8)、尾气处理装置(9)、中转料仓(10)、回收料仓(11)、产品仓(12);
所述第一粉体料仓(1)的出料口与所述流化床(2)的进料口通过管道和料阀相连接;所述流化床(2)底部的进气口通过管道和气阀与惰性气体相连接;所述气化装置(3)的进气口通过管道和气阀与惰性气体相连接;所述气化装置(3)的出气口与所述流化床(2)的进气口通过管道相连接;所述流化床(2)的出气口与所述第一旋风分离装置(4)的进气口通过管道相连接;所述第一旋风分离装置(4)的出料口与所述流化床(2)的进料口通过管道和料阀相连接;所述第一旋风分离装置(4)的出气口通过管道与所述尾气处理装置(9)相连接;所述流化床(2)的出料口与所述第二粉体料仓(5)的进料口通过管道和料阀相连接;所述第二粉体料仓(5)的进气口通过管道和气阀与惰性气体相连接;
所述待包覆材料料仓(6)的出料口与所述包覆流化床(7)的进料口通过管道和料阀相连接;所述第二粉体料仓(5)的出料口与所述包覆流化床(7)的进料口通过管道和料阀相连接;所述包覆流化床(7)的进气口通过管道和气阀与惰性气体相连接;所述包覆流化床(7)的出气口与所述第二旋风分离装置(8)的进气口通过管道相连接;所述第二旋风分离装置(8)的出料口与所述包覆流化床(7)的进料口通过管道和料阀相连接;所述第二旋风分离装置(8)的出气口通过管道和所述尾气处理装置(9)相连接;
所述包覆流化床(7)的出料口与所述中转料仓(10)的进料口通过管道和料阀相连接;所述中转料仓(10)的出料口与所述回收料仓(11)的进料口通过管道和料阀相连接;所述回收料仓(11)的出料口与所述包覆流化床(7)的进料口通过管道和料阀相连接;所述中转料仓(10)的出料口与所述产品仓(12)的进料口通过管道和料阀相连接。
2.一种基于权利要求1所述系统制备锆包覆层的方法,所述方法包括以下步骤:
惰性气体经过管道从流化床(2)底部进气口进入所述流化床(2)中;所述第一粉体料仓(1)中的粉体经过管道进入所述流化床(2)中;所述气化装置(3)中的粉体升温至一定温度后,在惰性气体的载气下经过管道进入所述流化床(2)中进行反应;所述流化床(2)中出气口的部分细粉和气体经过所述第一旋风分离装置(4)分离后,粉体回收进入所述流化床(2)中,分离后的气体经过所述尾气处理装置(9)处理后排放或重复利用;所述流化床(2)中反应后的物料经过料阀和管道进入所述第二粉体料仓(5)中,在惰性气体载入下经过管道进入所述包覆流化床(7)中;所述待包覆材料料仓(6)中待包覆的材料经过进料口进入所述包覆流化床(7)中进行包覆沉积;所述包覆流化床(7)中出气口的细粉经过所述第二旋风分离装置(8)分离后进入所述包覆流化床(7)中,分离后的气体经过所述尾气处理装置(9)处理后排放或重复利用;包覆后的材料和粉体经管道进入所述中转料仓(10)中经过分离得到包覆后的材料和反应粉体,反应粉体经过管道进入所述回收料仓(11)实现粉体的回收再利用,包覆后的材料经过管道进入所述产品仓(12)得到锆包覆的材料。
3.根据权利要求2所述的制备锆包覆层的方法,其特征在于,所述第一粉体料仓(1)中粉体为海绵锆或氢化锆的中的任意一种或任意比例混合。
4.根据权利要求2所述的制备锆包覆层的方法,其特征在于,所述流化床(2)中的反应温度为300℃至750℃,粉体平均停留时间为5min至180min。
5.根据权利要求2所述的制备锆包覆层的方法,其特征在于,所述气化装置(3)中物料为四氯化锆或者四碘化锆的中任意一种或任意比例混合,温度范围为80℃至450℃。
6.根据权利要求2所述的制备锆包覆层的方法,其特征在于,所述包覆流化床(7)中的反应温度为300℃至1000℃,沉积包覆时间大于5min。
7.根据权利要求2所述的制备锆包覆层的方法,其特征在于,所述惰性气体为Ar气或He气。
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