[发明专利]刻蚀机台及其控制方法

权利要求书

1.一种刻蚀机台，其特征在于，包括：

第一类型传送路径及第二类型传送路径；

所述第一类型传送路径包括：

至少一第一类型载台，用于承载第一类型目标物；

至少一第一类型刻蚀腔，用于刻蚀所述第一类型目标物；

至少一第一类型取放装置，能够在所述第一类型载台与所述第一类型刻蚀腔之间移动，用于在所述第一类型载台与所述第一类型刻蚀腔取放所述第一类型目标物；

所述第二类型传送路径包括：

至少一第二类型载台，用于承载第二类型目标物；

至少一第二类型刻蚀腔，用于刻蚀所述第二类型目标物；

至少一第二类型取放装置，能够在所述第二类型载台与所述第二类型刻蚀腔之间移动，用于在所述第二类型载台与所述第二类型刻蚀腔取放所述第二类型目标物；

物料管理系统，所述物料管理系统存储有所述第一类型传送路径及第二类型传送路径的参数信息，并能够将所述第一类型目标物或者所述第二类型目标物的自带信息与所述第一类型传送路径及第二类型传送路径的参数信息进行匹配，得到匹配信息，以分配所述第一类型目标物及第二类型目标物；

机台控制系统，能够接收所述物料管理系统的匹配信息，并能够根据所述匹配信息发送命令信号；

设备自动化系统，能够接收所述命令信号，并能够根据所述命令信号向所述第一类型传送路径或第二类型传送路径发送校验命令；

所述第一类型传送路径或第二类型传送路径能够根据所述校验命令进行校验并能够将结果反馈至所述物料管理系统；

所述物料管理系统能够根据反馈结果分配所述第一类型目标物及第二类型目标物。

2.根据权利要求1所述的刻蚀机台，其特征在于，所述第一类型取放装置及所述第二类型取放装置均为机械手臂。

3.根据权利要求1所述的刻蚀机台，其特征在于，所述第一类型目标物为金属目标物，所述第二类型目标物为非金属目标物。

4.根据权利要求1所述的刻蚀机台，其特征在于，所述刻蚀机台包括至少一第一工作段及至少一第二工作段，所述第一类型载台、所述第一类型刻蚀腔及所述第一类型取放装置设置在所述第一工作段，所述第二类型载台、所述第二类型刻蚀腔及所述第二类型取放装置设置在所述第二工作段。

5.根据权利要求1所述的刻蚀机台，其特征在于，所述第一类型载台与所述第一类型刻蚀腔对应设置，所述第二类型载台与所述第二类型刻蚀腔对应设置。

6.一种刻蚀机台的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

识别目标物的自带信息；

根据所述目标物的自带信息分配所述目标物至第一类型传送路径或者第二类型传送路径，若所述目标物为第一类型目标物，则所述目标物被分配至所述第一类型传送路径，若所述目标物为第二类型目标物，则所述目标物被分配至所述第二类型传送路径；

识别一目标物的自带信息的步骤进一步包括：物料管理系统采集所述目标物的自带信息；根据所述目标物的自带信息分配所述目标物至第一类型传送路径或者第二类型传送路径的步骤进一步包括：所述物料管理系统将所述目标物的自带信息与所述第一类型传送路径及第二类型传送路径的参数信息进行匹配，并根据匹配信息对所述目标物进行分配；

所述控制方法进一步包括如下步骤：

所述物料管理系统将匹配信息传送至机台控制系统；

所述机台控制系统接收所述匹配信息，并根据所述匹配信息发送命令信号给设备自动化系统；

所述设备自动化系统接收所述命令信号，并根据所述命令信号向该匹配信息对应的所述第一类型传送路径或第二类型传送路径发送校验命令；

所述第一类型传送路径或第二类型传送路径根据所述校验命令进行校验，并将结果反馈给所述物料管理系统；

所述物料管理系统根据反馈结果对所述目标物进行分配。