[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置

权利要求书

1.一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆（1），其特征在于：提拉杆（1）底部通过支架（2）分别安装有横向夹持器（3）和纵向夹持器（4），横向夹持器（3）位于纵向夹持器（4）的下方，籽晶（5）的侧面和顶面分别与横向夹持器（3）和纵向夹持器（4）固定连接；所述横向夹持器（3）包括第一外壳（6），第一外壳（6）内固定有第一内套（7），第一外壳（6）上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆（8），第一内套（7）上设置有与第一锁止螺杆（8）相配合的通孔（9），第一锁止螺杆（8）的底部固定有压盘（10），籽晶（5）位于第一内套（7）内的部分的表面设置有与压盘（10）相配合的滑槽（11）；所述纵向夹持器（4）包括两个通过第二锁止螺杆（13）连接的第二外壳（12），第二外壳（12）内侧设置有卡槽（14），籽晶（5）位于第二外壳（12）内的部分的表面设置有与卡槽（14）相配合的凸缘（15）；第一内套（7）内侧端的顶部和第一内套（7）外侧端的底部分别固定有限位块（17），限位块（17）与籽晶（5）的接触面设置有斜面部（18）；卡槽（14）的顶面和底面与凸缘（15）间隙配合，卡槽（14）的侧面边缘设置有弧形部（20）；第二外壳（12）与籽晶（5）的接缝处插接有限位销（21）。

2.根据权利要求1所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述压盘（10）底面设置有锥形空腔（16）。

3.根据权利要求2所述的用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，其特征在于：所述锥形空腔（16）的底部边缘设置有齿形压边（19）。