[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置

说明书

本发明公开了一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆，提拉杆底部通过支架分别安装有横向夹持器和纵向夹持器，籽晶的侧面和顶面分别与横向夹持器和纵向夹持器固定连接；所述横向夹持器包括第一外壳，第一外壳内固定有第一内套，第一外壳上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆，第一内套上设置有与第一锁止螺杆相配合的通孔，第一锁止螺杆的底部固定有压盘，籽晶位于第一内套内的部分的表面设置有与压盘相配合的滑槽；所述纵向夹持器包括两个通过第二锁止螺杆连接的第二外壳，第二外壳内侧设置有卡槽，籽晶位于第二外壳内的部分的表面设置有与卡槽相配合的凸缘。本发明能够改进现有技术的不足，提高对于籽晶的保护效果。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置。

背景技术

在采用提拉法制备单晶硅的设备中，籽晶是通过夹持提拉装置进行固定的。现有的夹持提拉装置在籽晶受到多个方向扰动的情况下，对籽晶的保护效果不佳。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，能够解决现有技术的不足，提高对于籽晶的保护效果。

为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案如下。

一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置，包括提拉杆，提拉杆底部通过支架分别安装有横向夹持器和纵向夹持器，横向夹持器位于纵向夹持器的下方，籽晶的侧面和顶面分别与横向夹持器和纵向夹持器固定连接；所述横向夹持器包括第一外壳，第一外壳内固定有第一内套，第一外壳上螺纹连接有若干个第一锁止螺杆，第一内套上设置有与第一锁止螺杆相配合的通孔，第一锁止螺杆的底部固定有压盘，籽晶位于第一内套内的部分的表面设置有与压盘相配合的滑槽；所述纵向夹持器包括两个通过第二锁止螺杆连接的第二外壳，第二外壳内侧设置有卡槽，籽晶位于第二外壳内的部分的表面设置有与卡槽相配合的凸缘。

作为优选，所述压盘底面设置有锥形空腔。

作为优选，所述第一内套内侧端的顶部和第一内套外侧端的底部分别固定有限位块，限位块与籽晶的接触面设置有斜面部。

作为优选，所述锥形空腔的底部边缘设置有齿形压边。

作为优选，所述卡槽的顶面和底面与凸缘间隙配合，卡槽的侧面边缘设置有弧形部。

作为优选，所述第二外壳与籽晶的接缝处插接有限位销。

采用上述技术方案所带来的有益效果在于：本发明通过设计分体式的夹持装置，横向夹持器用于对籽晶的纵向方向进行夹持固定，纵向夹持器用于对籽晶的横向方向进行夹持固定。通过分体固定，可以减少籽晶在不同方向产生颤动时夹持装置对籽晶表面的损伤。在横向夹持器中，通过压盘对籽晶进行固定。在纵向夹持器中，通过卡槽对籽晶进行固定。锥形空腔可以降低压盘与籽晶之间振动的传递。第一内套中对角安装的限位块可以对籽晶的横向颤动进行初步的限制。齿形压边可以进一步提高压盘对籽晶横向的限位效果。卡槽的结构可以降低籽晶出现颤动时卡槽导致的籽晶损伤。限位销用来提高第二外壳与籽晶配合度。

附图说明

图1是本发明一个具体实施方式的结构图。

图2是本发明一个具体实施方式中横向夹持器的结构图。

图3是本发明一个具体实施方式中纵向夹持器的结构图。

具体实施方式