[发明专利]净化处理装置及净化处理方法

权利要求书

1.一种净化处理装置，包括：

支承台，搭载收纳有对象物的容器；

多个气体供应端口，设置于所述支承台，当所述容器搭载在所述支承台上时，所述多个气体供应端口与所述容器的多个气体流入孔连通；

气体排出端口，设置于所述支承台，当所述容器搭载在所述支承台上时，所述气体排出端口与所述容器的气体流出孔连通；

气体供应单元，通过所述多个气体供应端口向所述容器内供应净化气体；

气体排出单元，通过所述气体排出端口排出所述容器内的净化气体；

载荷检测传感器，用于检测搭载在所述支承台上的所述容器的载荷及所述对象物的载荷；以及，

控制单元，基于由所述载荷检测传感器检测到的荷载控制所述气体供应单元，从而控制向所述容器的内部供应的净化气体的流量。

2.根据权利要求1所述的净化处理装置，其中，

在所述多个气体供应端口分别连接有多个流量开关，单独调节通过所述多个气体供应端口的净化气体的流量。

3.根据权利要求2所述的净化处理装置，其中，

所述净化气体的流量基于时间、所述容器的内部压力、所述净化气体的当前流量中至少一个来调节。

4.根据权利要求1所述的净化处理装置，其中，

所述净化处理装置还包括位置检测传感器，所述位置检测传感器用于检测搭载在所述支承台上的所述容器的位置。

5.根据权利要求1所述的净化处理装置，其中，

所述控制单元基于由所述载荷检测传感器检测到的载荷计算出所述对象物的数量，并基于所述对象物的数量确定要向所述容器内供应的所述净化气体的流量。

6.根据权利要求1所述的净化处理装置，其中，

所述气体供应端口包括气体供应垫，所述气体供应垫具有与所述容器的所述气体流入孔连通的气体供应孔，当所述容器搭载在所述支承台上时，所述气体供应垫与所述容器的底面接触并起到缓冲作用。

7.根据权利要求1所述的净化处理装置，其中，

所述气体排出端口包括气体排出垫，所述气体排出垫具有与所述容器的所述气体流出孔连通的气体排出孔，当所述容器搭载在所述支承台上时，所述气体排出垫与所述容器的底面接触并起到缓冲作用。

8.一种净化处理方法，使用净化处理装置对容器进行净化处理，所述净化处理装置包括：支承台，搭载收纳有对象物的所述容器；多个气体供应端口，设置于所述支承台，当所述容器搭载在所述支承台上时，所述多个气体供应端口与所述容器的多个气体流入孔连通；以及，气体排出端口，设置于所述支承台，当所述容器搭载在所述支承台上时，所述气体排出端口与所述容器的气体流出孔连通，其中，所述净化处理方法包括以下步骤：

(a)所述容器搭载到所述支承台上；

(b)确定向所述容器内供应净化气体的流量；以及，

(c)不同地设定通过所述多个气体供应端口的所述净化气体的流量来调节所述净化气体的流量或者开启所述多个气体供应端口中全部或一部分来调节所述净化气体的流量，以在所述(b)的步骤中确定的流量向所述容器内供应所述净化气体，

所述(b)的步骤包括以下步骤：

(b-1)检测所述支承台上的所述容器的载荷及收纳于所述容器的对象物的载荷；以及，

(b-2)基于在所述(b-1)的步骤中检测到的载荷确定所述净化气体的流量。

9.根据权利要求8所述的净化处理方法，其中，

所述(a)的步骤检测所述支承台上的所述容器的载荷来判断是否搭载有所述容器。

10.根据权利要求8所述的净化处理方法，其中，

所述(a)的步骤与所述(b)的步骤之间还包括以下步骤：

检测所述支承台上的所述容器的位置；以及，

当所述容器的位置不是预先设定的位置时，中止供应所述净化气体的工作。