[发明专利]净化处理装置及净化处理方法有效
申请号: | 201910622128.4 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN110838461B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 崔钟锡;蔡在慜;朴成珍;郑然圭;朴重协;金枓封;李秀雄;郑恩知;赵丁寅;李俊昊 | 申请(专利权)人: | 细美事有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人: | 熊玉兰;冯志云 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 净化 处理 装置 方法 | ||
本发明涉及一种净化处理装置,其可包括:支承台,搭载收纳有对象物的容器;多个气体供应端口,设置于支承台,当容器搭载在支承台上时,多个气体供应端口与容器的气体流入孔连通;气体排出端口,设置于支承台,当容器搭载在支承台上时,气体排出端口与容器的气体流出孔连通;气体供应单元,通过多个气体供应端口向容器内供应净化气体;以及,气体排出单元,通过气体排出端口排出容器内的净化气体。
技术领域
本发明涉及对收纳有对象物的容器进行净化处理的净化处理装置及净化处理方法。
背景技术
在半导体装置或显示装置之类的多种电子/电气装置的制造工艺中,使用构成为将晶片、基板、半导体元件等(以下,称为“对象物”)在预定的气氛下保管并对对象物执行预定的处理的储料器。
储料器具有通过多个隔板划分的多个隔室,对象物以收纳于容器中的状态保管在隔室内部。容器的内部形成预定的环境及气氛,由此,对象物可在预定的环境及气氛下进行处理。
在这样的过程中,执行向容器的内部供应净化气体并从容器排出净化气体来对容器的内部进行净化处理的过程,由此,可保持容器的内部的一定清洁度。
在这样的净化处理过程中,重要的是在容器内使净化气体顺畅地循环后将净化气体从容器顺畅地排出。因此,要求能够在容器内使净化气体顺畅地循环后从容器顺畅地排出净化气体的技术开发。
现有技术文献
专利文献
韩国授权专利第一0-1647923号
发明内容
本发明旨在解决上述的以往技术中的技术要求,本发明的目的在于提供一种能够向收纳有对象物的容器内部顺畅地供应净化气体并将容器内部的气体向外部顺畅地排出的净化处理装置。
用于达到上述目的根据本发明的实施例的净化处理装置可包括:支承台,搭载收纳有对象物的容器;多个气体供应端口,设置于支承台,当容器搭载在支承台上时,多个气体供应端口与容器的多个气体流入孔连通;气体排出端口,设置于支承台,当容器搭载在支承台上时,气体排出端口与容器的气体流出孔连通;气体供应单元,通过多个气体供应端口向容器内供应净化气体;以及,气体排出单元,通过气体排出端口排出容器内的净化气体。
可以是,在多个气体供应端口分别连接有多个流量开关,单独调节通过多个气体供应端口的净化气体的流量。
可以是,净化气体的流量基于时间、容器的内部压力、净化气体的当前流量中至少一个来调节。
根据本发明的实施例的净化处理装置可还包括位置检测传感器,位置检测传感器用于检测搭载在支承台上的容器的位置。
根据本发明的实施例的净化处理装置可还包括载荷检测传感器,载荷检测传感器用于检测搭载在支承台上的容器的载荷及对象物的载荷。
可以是,气体供应端口包括气体供应垫,气体供应垫具有与容器的气体流入孔连通的气体供应孔,当容器搭载在支承台上时,气体供应垫与容器的底面接触并起到缓冲作用。
可以是,气体排出端口包括气体排出垫,气体排出垫具有与容器的气体流出孔连通的气体排出孔,当容器搭载在支承台上时,气体排出垫与容器的底面接触并起到缓冲作用。
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