[发明专利]在线检测抛光垫下方气泡的方法在审
| 申请号： | 201910623677.3 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN112207634A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 林士杰;谈文毅 | 申请（专利权）人： | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 361100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 在线 检测 抛光 下方 气泡 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种在线检测抛光垫下方气泡的方法，其特征在于：
将抛光垫粘贴在化学机械抛光机台的基座上；
进行抛光垫磨合制作工艺，利用调节盘研磨所述抛光垫，其中所述调节盘耦合垫高度感应装置；以及
在所述抛光垫磨合制作工艺过程中，以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化，其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值，将所述抛光垫从所述基座上剥离，再另粘贴一抛光垫。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述预定值约为0.1mm。
3.如权利要求1所述的方法，其中，在所述抛光垫磨合制作工艺过程中，只有在所述抛光垫上喷洒水。
4.如权利要求1所述的方法，其中，所述调节盘是钻石盘。
5.如权利要求1所述的方法，其中，所述调节盘是连接至调节臂。
6.如权利要求1所述的方法，其中，所述垫高度感应装置包含CMOS感应器。
7.如权利要求1所述的方法，其中，所述垫高度感应装置的分辨率约为0.5μm。
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