[发明专利]板式PECVD设备的质量流量计的标定方法

权利要求书

1.一种板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，所述板式PECVD设备包括质量流量计M1至Mn，其中，n为3以上的自然数，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1，释放反应腔体中的气体，使所述板式PECVD设备的所述反应腔体中的压力稳定至P0；

步骤S2，经由所述质量流量计M1向所述板式PECVD设备的反应腔体中通入预定流量的气体，待所述反应腔体中的压力稳定后记录所述反应腔体中的压力为P1；

步骤S3，重复所述步骤S1和所述步骤S2，分别记录经由所述质量流量计M2至Mn向所述板式PECVD设备的反应腔体中通入所述预定流量的所述气体后所述反应腔体中的压力P2至Pn；

步骤S4，根据所测得的P1至Pn确定需要更换的质量流量计并进行更换；

其中，所述步骤S4包括：

步骤S41，计算所测得的P1至Pn的算数平均值Pa；

步骤S42，将P1至Pn分别与所述Pa相比较，分别得到各个所述质量流量计所对应的压力偏差；

步骤S43，所述压力偏差满足预定条件时所对应的所述质量流量计，进行更换。

2.根据权利要求1所述的板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，其特征在于，所述步骤S43中，确定所述压力偏差的绝对值大于预定值所对应的所述质量流量计，进行更换。

3.根据权利要求1所述的板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，其特征在于，所述步骤S43中，确定所述压力偏差的绝对值最大所对应的所述质量流量计，进行更换。

4.根据权利要求1所述的板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

对所述板式PECVD设备的反应腔体进行抽压，使所述板式PECVD设备的反应腔体中的压力稳定为P0。

5.根据权利要求1所述的板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，其特征在于，所述步骤S2中，经由所述质量流量计向所述板式PECVD设备的反应腔体中通入的气体为氮气。

6.根据权利要求5所述的板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，其特征在于，所述质量流量计M1至Mn分别为硅烷质量流量计。

7.根据权利要求5所述的板式PECVD设备的质量流量计的标定方法，其特征在于，所述质量流量计M1至Mn分别为氨气质量流量计。