[发明专利]掩模装置的制造装置

说明书

本发明的目的之一在于提供能够以高精度对准掩模并将掩模固定在框架上的掩模装置的制造方法和制造装置。掩模装置的制造装置包括：工作台，其包括用于保持框架的框架保持工作台和具有多个升降销的对准工作台；保持部，其用于保持与工作台相对地配置的基准板；掩模保持单元，其配置在工作台与基准板之间，用于保持掩模；和用于透过基准板对工作台的方向进行拍摄的摄像机，掩模保持单元在框架侧的面保持掩模，掩模保持单元能够通过多个升降销的动作在对准工作台上升降，多个升降销包括能够与掩模保持单元接触的多个第一升降销，摄像机对形成在掩模上的第一基准标记和形成在基准板上的第二基准标记进行拍摄。

技术领域

本发明的一个实施方式涉及将掩模固定在框架上而成的掩模装置的制造装置。

背景技术

显示装置中，在各像素设置有发光元件，通过单独地控制发光来显示图像。例如，在使用有机EL元件作为发光元件的有机EL显示装置中，在各像素设置有有机EL元件，有机EL元件具有在由阳极电极和阴极电极构成的一对电极间夹着含有有机EL材料的层(下面，称为“有机EL层”)的结构。有机EL层由发光层、电子注入层、空穴注入层等功能层构成，通过选择这些功能层的有机材料，能够以各种波长的颜色发光。

在以低分子化合物为材料形成有机EL元件的薄膜时，可以使用蒸镀法。在蒸镀法中，利用加热器将蒸镀材料加热、升华，使其蒸镀在基板的表面来形成薄膜。此时，通过使用具有多个微细的开口图案的掩模，利用掩模的开口形成微细的薄膜图案。

掩模可以以将掩模固定在具有刚性的框状的框架上而成的掩模装置的形式使用。例如，日本特开2006-265712号公报中公开了如下的方法：利用多个夹具抓持极薄且具有刚性不同的区域的掩模并对其施加张力，从而将该掩模以没有变形或松弛的平坦的状态固定在框状的框架上。

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明的一个实施方式的目的之一在于，提供能够以高精度对准掩模并将掩模固定在框架上的掩模装置的制造装置。

用于解决技术问题的手段

本发明的一个实施方式的掩模装置的制造装置是将掩模固定在框架上而成的掩模装置的制造装置，其特征在于，包括：工作台，其包括用于保持所述框架的框架保持工作台和具有多个升降销的对准工作台；保持部，其用于保持与所述工作台相对地配置的基准板；掩模保持单元，其配置在所述工作台与所述基准板之间，用于保持所述掩模；和用于透过所述基准板对所述工作台的方向进行拍摄的摄像机，所述掩模保持单元在所述框架侧的面保持所述掩模，所述掩模保持单元能够通过所述多个升降销的动作在所述对准工作台上升降，所述多个升降销包括能够与所述掩模保持单元接触的多个第一升降销，所述摄像机对形成在所述掩模上的第一基准标记和形成在所述基准板上的第二基准标记进行拍摄。

附图说明

图1A是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的概略结构的俯视图。

图1B是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的概略结构的截面图。

图2A是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造装置的概略结构的俯视图。

图2B是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造装置的概略结构的侧视图。

图3A是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造装置的工作台的结构的俯视图。

图3B是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造装置的工作台的结构的俯视图。

图4A是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造方法的俯视图。

图4B是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造方法的侧视图。

图5A是表示本发明的一个实施方式的掩模装置的制造方法的俯视图。