[发明专利]一种可转移柔性电极及其制备方法和应用有效
申请号: | 201910635001.6 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN110350107B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 谢俊洋;刘康平;王倩楠;王双龙;丁星伟;魏斌;徐韬 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 董大媛 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 柔性 电极 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种可转移柔性电极的制备方法,其特征在于,步骤为:
(1)在基板上依次涂覆光刻胶、涂覆PDMS层和层叠薄片石墨,得到初级电极;所述薄片石墨采用溶液法制备得到;
(2)去掉所述步骤(1)初级电极的光刻胶,使基板脱落,对剩余的PDMS层和薄片石墨进行退火处理,得到可转移柔性电极;
所述步骤(1)中薄片石墨的厚度为2μm。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中基板为PET、PEN、PI基板或玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)涂覆光刻胶的方式为:按照100~200uL/700cm2的用量在基板上涂覆光刻胶,然后将表面涂覆有光刻胶的基板进行旋转处理,甩出多余光刻胶;所述旋转处理的转速为2000~4000rpm,时间为60s。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中PDMS层由PDMS溶液涂覆后退火得到;所述PDMS溶液的浓度为20mg/mL。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)涂覆PDMS层的方式为旋涂;所述旋涂的用量为100~200μL/700cm2;所述旋涂的转速为3000rpm,时间为60s;所述退火的温度为80℃,时间为4~5h。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中去掉所述光刻胶的方法为溶解法。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中退火处理的温度为150℃,时间为20min。
8.权利要求1~7任一项所述的制备方法制备得到的可转移柔性电极,其特征在于,包括层叠的PDMS层与薄片石墨。
9.权利要求1~7任一项所述制备方法制备得到的可转移柔性电极在光电器件中的应用。
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