[发明专利]磷烯晶向的识别方法、装置及电子设备

说明书

本申请提供了一种磷烯晶向的识别方法，该方法包括：获取待识别磷烯的目标特征峰的拉曼散射光谱信息；其中，拉曼散射光谱信息为在拉曼系统散射光路无检偏模式下，在不同入射光偏振方向时采集的目标特征峰的原始拉曼散射光谱信息；从目标特征峰的拉曼散射光谱信息中，提取出目标特征峰对应的拉曼强度数据；基于预设的目标特征峰对应的拉曼散射强度公式，对目标特征峰对应的拉曼强度数据进行拟合，得到待识别磷烯的晶向所在角度。本申请能够在拉曼系统散射光路无检偏模式下，实现对磷烯的晶向识别。

技术领域

本申请涉及半导体材料技术领域，尤其涉及一种磷烯晶向的识别方法、装置及电子设备。

背景技术

对于黑磷或者磷烯的晶向识别，现有的实验手段主要包括基于TEM(Transmissionelectron microscope，透射电子显微镜)、AFM(Atomic Force Microscope，原子力显微镜)等的显微观测法、角分辨电导率方法以及红外、拉曼等光谱类手段。其中，角分辨电导率方法是接触式的测量，空间分辨率与角分辨灵敏度均较低；显微观测的方式难以实现无损、在线的定量测量；红外光谱测量的光谱分辨率与设备的空间分辨率也难以满足微小尺度的磷烯材料的精准测量；基于偏振拉曼光谱能够快速、精确、无接触地识别磷烯的晶向。

目前，基于偏振拉曼光谱的晶向识别过程中，通常采用平行偏振(协同)的偏振构型，即所探测的散射光偏振方向与激发光偏振方向始终保持平行。在该偏振构型下，通过以一定步长在一周范围内(360度)连续转偏并采集不同偏振方向下的拉曼信息，拟合偏振角度与所对应光谱中A_g²子峰拉曼强度的关系曲线，来判断磷烯的晶向。然而，该方法需要采用能够连续转偏的平行偏振构型，但大多数通用的显微拉曼系统因缺少专用配件而难以直接实现，因此只能采用转动样品的方式，不仅难以确保原位，更难以适用于复杂结构或者加载环境下的探测。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供一种磷烯晶向的识别方法、装置及电子设备，能够在拉曼系统散射光路无检偏模式下，实现对磷烯的晶向识别。

根据本申请的一个方面，提供一种磷烯晶向的识别方法，所述方法包括：获取待识别磷烯的目标特征峰的拉曼散射光谱信息；其中，所述拉曼散射光谱信息为在拉曼系统散射光路无检偏模式下，在不同入射光偏振方向时采集的目标特征峰的原始拉曼散射光谱信息；从所述目标特征峰的拉曼散射光谱信息中，提取出所述目标特征峰对应的拉曼强度数据；基于预设的所述目标特征峰对应的拉曼散射强度公式，对所述目标特征峰对应的拉曼强度数据进行拟合，得到所述待识别磷烯的晶向所在角度。

在一些实施例中，当所述目标特征峰为B_2g特征峰时，基于预设的所述目标特征峰对应的拉曼散射强度公式，对所述目标特征峰对应的拉曼强度数据进行拟合，得到所述待识别磷烯的晶向所在角度的步骤，包括：

利用所述B_2g特征峰对应的第一拉曼散射强度公式(1)，拟合所述B_2g特征峰对应的拉曼强度数据，得到所述待识别磷烯的第一晶向所在角度；

其中，代表B_2g特征峰在无检偏模式时的拉曼散射强度；Γ、Λ、Ψ代表磷烯拉曼散射特征的常数参量；θ为磷烯的锯齿形ZZ晶向相对水平方向X轴的夹角，也是所述待识别磷烯的第一晶向所在角度；为入射光相对水平X轴的偏振角度。

在一些实施例中，当所述目标特征峰为A_g特征峰的第一子峰A_g¹峰或者所述A_g特征峰的第二子峰A_g²峰时，基于预设的所述目标特征峰对应的拉曼散射强度公式，对所述目标特征峰对应的拉曼强度数据进行拟合，得到所述待识别磷烯的晶向所在角度的步骤，包括：