[发明专利]一种电子级硫酸生产的装置与方法

权利要求书

1.一种电子级硫酸生产的装置，其特征在于，包括三氧化硫原料储罐（1）、汽化器一（3）、除雾器（4）、冷却器一（5）、缓冲罐一（6）、汽化器二（8）、吸收塔（9）、缓冲罐二（12）、冷却器二（14）、气提塔（15），三氧化硫原料储罐（1）经原料泵（2）与汽化器一（3）连通，汽化器一（3）顶部与除雾器（4）连接，除雾器（4）顶部与冷却器一（5）顶部连接，冷却器一（5）底部与缓冲罐一（6）连接，缓冲罐一（6）经进料泵（7）与汽化器二（8）相连，汽化器二（8）与吸收塔（9）连接，吸收塔（9）底部与缓冲罐二（12）连接，缓冲罐二（12）底部经循环酸泵（13）与冷却器二（14）连接，冷却器二（14）与气提塔（15）连通，气提塔（15）连接至电子级硫酸储罐。

2.根据权利要求1所述的电子级硫酸生产的装置，其特征在于，冷却器二（14）与吸收塔（9）连接并与吸收塔（9）内的喷淋器（10）连接，所述的吸收塔（9）上部设置有至少两级塔盘（16），塔盘下设有积液盘（11），积液盘（11）上陈列设置孔（17）。

3.根据权利要求1所述的电子级硫酸生产的装置，其特征在于，所述的吸收塔（9）上部设置有超纯水进入管；所述的气提塔（15）上设置有空气进入管。

4.一种电子级硫酸生产的方法，采用如权利要求1～3任一项所述的电子级硫酸生产的装置，包括以下步骤：

（1）三氧化硫原料储罐中的三氧化硫通过原料泵运输至汽化器一，汽化器一中的三氧化硫蒸发后进入除雾器，进行气液分离器，气态三氧化硫进入冷却器一冷凝为液态，进入缓冲罐一；

（2）缓冲罐一中的三氧化硫经过汽化器二进行气液分离后经进料泵输送至吸收塔，并通入超纯水进行吸收，吸收液进入底部缓冲罐二，缓冲罐二中的硫酸通过循环酸泵输送至冷却器二，冷却后的部分硫酸返回吸收塔循环吸收，部分硫酸采出至气提塔；

（3）进入气提塔的硫酸采用高纯压缩空气进行曝气，然后进入硫酸储罐，可得到SEMI-C12级别的电子级硫酸。

5.如权利要求4所述电子级硫酸生产的方法，其特征在于，步骤(1)中三氧化硫原料储罐、缓冲罐一的温度控制在32℃～40℃；汽化器采用盘管热水或者导热油加热，汽化器一温度控制在50℃～70℃，汽化器二温度控制在40℃～55℃，汽化器一、二存在温度差，其目的在于汽化器一较高温度汽化，可以除雾大部分的液态杂质，汽化器二温度较低，汽化带入的雾滴少，保证进入吸收塔三氧化硫的品质；冷却器一采用冷却水或者空气作为冷却介质，三氧化硫出料温度控制在32℃～40℃。

6.如权利要求4所述电子级硫酸生产的方法，其特征在于，步骤(2)三氧化硫气体从吸收塔底部进入，超纯水从吸收塔上部的第一块塔盘下喷入；吸收塔塔内温度控制在70℃～110℃；冷却器二硫酸出料酸温控制在40℃～70℃。

7.如权利要求4所述电子级硫酸生产的方法，其特征在于，所述的超纯水为在25℃下电阻率为≥18MΩ*cm的超纯水。

8. 如权利要求4所述电子级硫酸生产的方法，其特征在于，步骤(3)硫酸从气提塔顶部进入，高纯空气从气提塔下部进入；气提塔曝气量控制在450 L/min～650L/min。