[发明专利]一种探测器阵列靶标定方法

权利要求书

1.一种探测器阵列靶标定系统的方法，标定系统包括光斑获取装置，第一分光镜(6)、第二分光镜(7)、功率计(8)、到第一分光镜(6)距离相同的定标探测器模块(9)和待标定的探测器阵列靶(10)，所述光斑获取装置输出的光斑(13)经过第一分光镜(6)后分别发射到定标探测器模块(9)、待标定的探测器阵列靶(10)上，设置在光路上的第二分光镜(7)分出一束光发射到功率计(8)上；所述定标探测器模块(9)和待标定的探测器阵列靶(10)上分别对应设置有第一二维扫描平台(11)和第二二维扫描平台(12)，第一二维扫描平台(11)和第二二维扫描平台(12)使对应的定标探测器模块(9)和待标定的探测器阵列靶(10)均在正对光斑(13)的平面上进行设定路径(14)的全覆盖扫描，其特征在于，方法包括以下步骤：

S1、搭建系统；根据待标定的探测器阵列靶(10)测量波长及功率密度范围，匹配合适的光斑获取装置，然后搭建系统；

S2、数据处理控制单元控制第一二维扫描平台(11)带动标准的定标探测器模块(9)按照设定路径(14)进行单点扫描，扫描完成后，信号调理采样单元采集到标准的定标探测器模块(9)中的探测器单元(101)的AD响应值，然后传输到数据处理控制单元中，数据处理控制单元获取功率计(8)统计的光斑(13)总功率P_sum，计算出真实功率密度ρ；

S3、数据处理控制单元控制第二二维扫描平台(12)带动待标定的探测器阵列靶(10)移动，使其中每个探测器单元(101)依次按照设定路径(14)对光斑(13)进行单点扫描，信号调理采样单元将获得的所有探测器单元(101)对应的AD响应值传输到数据处理控制单元中进行处理，然后根据每个探测器单元(101)的AD响应峰值与步骤S2中真实功率密度ρ，建立各探测器单元(101)对应的AD响应峰值与真实功率密度ρ的数学模型，实现对待标定的探测器阵列靶(10)中各探测器单元(101)的标定。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光斑获取装置包括在标定激光器(1)输出光路上设置的

滤光片(2)，用于滤除标定激光器(1)发出的光束中的杂散光；

衰减片(3)，用于对激光功率进行定量衰减；

光斑整形组件，用于将标定激光器(1)输出的高斯光束对应光斑整形。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述光斑整形组件包括在光路上依次设置的光束整形器(4)和可变光阑(5)，所述光束整形器(4)用于将标定激光器(1)输出的高斯光束变为功率密度分布较均匀的平顶光束，所述可变光阑(5)用于调节光斑(13)大小至合适范围，所述可变光阑(5)作为光斑获取装置的输出部件。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述定标探测器模块(9)和待标定的探测器阵列靶(10)在相应的扫描平台作用下，对光斑(13)的扫描范围半径为所述定标探测器模块(9)和待标定的探测器阵列靶(10)中探测器单元(101)对应的采样孔的直径D与光斑(13)半径之和。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述设定路径(14)为直线和或曲线。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括信号调理采样单元、数据处理控制单元，所述数据处理控制单元的多个输入端与信号调理采样单元和功率计(8)的输出端对应连接，数据处理控制单元的多个输出端分别与第一二维扫描平台(11)和第二二维扫描平台(12)受控端对应连接；所述信号调理采样单元用于采集定标探测器模块(9)、待标定的探测器阵列靶(10)中每个探测器单元(101)依次按照设定路径(14)扫描完成后获得的AD响应值。