[发明专利]一种OLED蒸镀用坩埚在审
| 申请号： | 201910639694.6 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110373633A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张铭今;张麒麟 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀 喷嘴 坩埚 材料沉积 加热装置 器件寿命 异常处理 坩埚本体 均匀性 预设 薄膜 蒸汽 体内 堵塞 劳动 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖，所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述喷射物为升华型材料，所述预设阈值范围为25-35℃。
3.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述喷射物为熔融型材料，所述预设阈值范围为50-65℃。
4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述加热装置包括圆筒和底座，所述圆筒与所述底座固定连接，所述底座通过螺丝固定在所述坩埚上盖，所述底座上设有第通孔，所述圆筒与所述第通孔相对设置且相通，所述喷嘴的一端依次穿过所述圆筒和第通孔与所述坩埚上盖螺纹连接，所述喷嘴的另一端凸出所述圆筒上表面，所述圆筒的内壁上设有通电的金属线圈。
5.根据权利要求4所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述圆筒与所述喷嘴之间设有环形石墨垫片。
6.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用坩埚，其特征在于，所述加热装置的壳体的材质为不锈钢。
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