[发明专利]一种OLED蒸镀用坩埚在审

专利信息
申请号: 201910639694.6 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN110373633A 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 张铭今;张麒麟 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/12
代理公司: 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 代理人: 张明
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 蒸镀 喷嘴 坩埚 材料沉积 加热装置 器件寿命 异常处理 坩埚本体 均匀性 预设 薄膜 蒸汽 体内 堵塞 劳动 保证
【说明书】:

发明涉及坩埚技术领域,特别涉及一种OLED蒸镀用坩埚,通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内,能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况,保证蒸镀速率稳定正常,提高蒸镀薄膜的均匀性,改善OLED器件的品质及提高器件寿命,减轻人力劳动及缩短异常处理时间。

技术领域

本发明涉及坩埚技术领域,特别涉及一种OLED蒸镀用坩埚。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-emitting Diode,简称为OLED)是新一代的显示技术,在目前OLED真空蒸镀制程中,坩埚作为蒸镀设备的蒸发源,坩埚本体中盛放金属或有机材料,受热后材料汽化再经由坩埚上盖的喷嘴溢出,最终沉积到基板上形成有机薄膜,用于实现OLED器件发光。但是,现有蒸镀用坩埚本体有加热系统供热,而坩埚上盖不会,因此坩埚本体与喷嘴处温度不一致也就有温度差,汽化的蒸镀材料经过喷嘴时由于温度降低冷凝,附着到喷嘴周围,一定时间后就会造成喷嘴堵塞,造成蒸镀速率降低,且不稳定,基板薄膜均匀性受到影响,最后引起OLED器件品质与寿命降低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是:提供一种能够防止喷嘴堵塞的OLED蒸镀用坩埚。

为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:

一种OLED蒸镀用坩埚,包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖,所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴,所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。

本发明的有益效果在于:

通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内,能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况,保证蒸镀速率稳定正常,提高蒸镀薄膜的均匀性,改善OLED器件的品质及提高器件寿命,减轻人力劳动及缩短异常处理时间。

附图说明

图1为根据本发明的一种OLED蒸镀用坩埚的结构示意图;

图2为根据本发明的一种OLED蒸镀用坩埚的结构拆解图;

标号说明:

1、坩埚本体;2、坩埚上盖;3、喷嘴;4、加热装置;5、环形石墨垫片。

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。

本发明最关键的构思在于:通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。

请参照图1和图2,本发明提供的技术方案:

一种OLED蒸镀用坩埚,包括上端具有开口的坩埚本体和盖设在所述开口处的坩埚上盖,所述坩埚上盖设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴,所述喷嘴上设有加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内。

从上述描述可知,本发明的有益效果在于:

通过在喷嘴上设置加热装置以使OLED蒸镀时喷嘴上的温度高于坩埚本体的温度且喷嘴上的温度与坩埚本体内的温度的差在预设阈值范围内,能够避免蒸镀蒸汽在喷嘴处出现材料沉积而堵塞喷嘴的情况,保证蒸镀速率稳定正常,提高蒸镀薄膜的均匀性,改善OLED器件的品质及提高器件寿命,减轻人力劳动及缩短异常处理时间。

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