[发明专利]一种蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括坩埚、基板、积灰装置和转动装置，所述基板位于所述坩埚的上方，所述转动装置设置在坩埚的一侧，所述积灰装置与转动装置可转动连接且位于预设初始位置，所述转动装置被配置为当坩埚中的温度达到第一预设温度值时，将所述积灰装置转动至所述坩埚的上方对产生的非目标蒸镀物进行吸收，当坩埚中的温度达到第二预设温度值时，将所述积灰装置转动至预设初始位置，所述第二预设温度值高于第一预设温度值。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述积灰装置包括具有开口且开口朝下的罩体，所述罩体的侧壁内表面由上至下设有多层金属片，所述金属片与其所在的罩体的侧壁内表面的垂直面所成夹角的度数为10°-90°。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述金属片沿着所述罩体的侧壁内表面设置，在所述罩体的侧壁内表面形成多层环状结构的金属片环。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，相邻两层所述金属片环之间的间距为10-15mm。

5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述金属片的截面形状为波浪形。

6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述罩体的开口的直径大于所述坩埚的开口直径，且所述罩体的开口与所述坩埚的开口相互平行。

7.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述罩体和金属片的材质均为不锈钢、钛和铝中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括温度传感器、处理器和存储器，所述处理器分别与所述温度传感器和存储器电连接，所述温度传感器设置在所述坩埚的开口处；

所述温度传感器，用于在坩埚的开口处检测坩埚中蒸镀材料的蒸镀温度；

所述存储器，用于存储预设的第一预设温度值和第二预设温度值；

所述处理器，用于将温度传感器检测到的温度分别与所述第一预设温度值和第二预设温度值作比较，当坩埚中的温度达到第一预设温度值时，将所述积灰装置转动至所述坩埚的上方对产生的非目标蒸镀物进行吸收，当坩埚中的温度达到第二预设温度值时，将所述积灰装置转动至预设初始位置。

9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述转动装置包括底座、支撑杆和连接杆，所述底座的内腔设有转动电机，所述转动电机的输出端通过联动轴与所述支撑杆的一端固定连接，所述积灰装置通过连接杆与所述支撑杆固定连接。