[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，具备：

处理槽，贮存对基板进行处理的药液；

配管，具有从上述处理槽的底部朝向上述基板排出气泡的排出口；以及

棒状体，配置于上述排出口与上述基板之间，将上述气泡分割。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

沿第1方向排列的多个上述基板，被保持在上述处理槽内，

多个上述棒状体，在上述第1方向上延伸，并且，沿与上述第1方向正交的第2方向排列。

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

沿第1方向排列的多个上述基板，被保持在上述处理槽内，

多个上述棒状体，在与上述第1方向正交的第2方向上延伸，并且，沿上述第1方向排列。

4.如权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述棒状体具备：

多个第1棒状体，在上述排出口之上、在上述第1方向或上述第2方向上排列；以及

多个第2棒状体，在上述多个第1棒状体与上述基板之间，相对于上述多个第1棒状体在上述第1方向或上述第2方向上错开而排列。

5.如权利要求3所述的基板处理装置，其中，

所述棒状体具备：

多个第1棒状体，在上述排出口上、在上述第1方向或上述第2方向上排列；以及

多个第2棒状体，在上述多个第1棒状体与上述基板之间，相对于上述多个第1棒状体在上述第1方向或上述第2方向上错开而排列。

6.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，

上述多个第1棒状体及上述多个第2棒状体，沿上述第1方向排列，

上述多个基板被保持在上述多个第2棒状体的正上方。

7.如权利要求5所述的基板处理装置，其中，

上述多个第1棒状体及上述多个第2棒状体，沿上述第1方向排列，

上述多个基板被保持在上述多个第2棒状体的正上方。

8.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，

上述多个第1棒状体及上述多个第2棒状体，沿上述第1方向排列，

上述多个基板被保持在上述多个第2棒状体之间。

9.如权利要求5所述的基板处理装置，其中，

上述多个第1棒状体及上述多个第2棒状体，沿上述第1方向排列，

上述多个基板被保持在上述多个第2棒状体之间。

10.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

多个上述棒状体配置成格子状。

11.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，

还具备保持上述基板的升降器，上述棒状体被固定于上述升降器。