[发明专利]一种微型发光二极管器件、显示器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910643177.6 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110416379A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 张惟诚;安金鑫;郁杰;张有为;黄安 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L25/075;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 黏着层 微型发光二极管 保护层 金属电极层 附着力 基板 暂态 显示器 传统制造 鼓起 刻蚀 制造 剥离 清洗 增设 侵蚀 覆盖 | ||
1.一种微型发光二极管器件，其特征在于：包括暂态基板、覆盖所述暂态基板的黏着层、覆盖所述黏着层的保护层、位于所述保护层上的多个金属电极层以及位于每个金属电极层上的微型发光二极管。
2.根据权利要求1所述的微型发光二极管器件，其特征在于：所述保护层与金属电极层之间附着力小于微型发光二极管与金属电极层之间附着力。
3.根据权利要求2所述的微型发光二极管器件，其特征在于：所述保护层与金属电极层之间附着力小于所述黏着层与保护层之间附着力。
4.根据权利要求1所述的微型发光二极管器件，其特征在于：所述保护层为金属保护层或非金属保护层。
5.一种权利要求1-4任一所述的微型发光二极管器件的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1：在衬底上覆盖外延层，在所述外延层上覆盖金属电极层；
S2：在所述金属电极层上覆盖保护层；
S3：在所述保护层上覆盖黏着层，在黏着层上设置暂态基板；
S4：使用激光或化学剥离，将步骤S1中外延层外侧的衬底剥离；
S5：对所述外延层进行涂胶、曝光、刻蚀和剥离，形成微型发光二极管。
6.根据权利要求5所述的微型发光二极管器件的制造方法，其特征在于：所述保护层与金属电极层之间附着力小于微型发光二极管与金属电极层之间附着力。
7.根据权利要求5所述的微型发光二极管器件的制造方法，其特征在于：所述保护层与金属电极层之间附着力小于所述黏着层与保护层之间附着力。
8.一种显示器，其特征在于，包括权利要求1-5任一所述的微型发光二极管器件、位于所述微型发光二极管器件底部的阵列电极以及承载所述阵列电极的阵列基板；所述微型发光二极管器件包括微型发光二极管和位于微型发光二极管底部的金属电极层，所述阵列电极位于所述金属电极层的下方。
9.一种显示器的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1：使用阵列吸头和微型发光二极管器件进行对位，；
S2：阵列吸头将微型发光二极管和金属电极层吸取；
S3：阵列吸头将吸取的微型发光二极管和金属电极层转移至阵列基板上，金属电极层与阵列基板通过金属共晶扩散结合固定。
10.根据权利要求9所述的显示器的制造方法，其特征在于：所述金属电极层与保护层之间附着力小于阵列吸头与微型发光二极管之间吸力。
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